Вакуумный анализатор остаточных газов Vision 2000-B
Бренд: — PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (29)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Макс. рабочее давление, мбар | 0,0001 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-100; 1-200; 1-300 | blms_full |
| Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея | 2,7 · 10⁻¹¹ гПа | blms_full |
| Соединительный фланец | DN 35 CF | blms_full |
| Mass Range Options 1-100 amu standard | 1-200 amu, 1-300 amu optional | |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | |
| Массовый диапазон | 1-100 amu стандарт, 1-200 amu, 1-300 amu опционально | pdf_vision |
| Детекторная система | Двойной (Фарадей и вторично-электронный умножитель) | pdf_vision |
| Максимальное рабочее давление | 7.6е-5 Торр (1е-4 мбар) | pdf_vision |
| Минимальное измеряемое парциальное давление (Фарадей) | 2е-11 Торр (2.7е-11 мбар) | pdf_vision |
| Минимальное измеряемое парциальное давление (ВЭУ) | 5е-14 Торр (6.7е-14 мбар) | pdf_vision |
| Стабильность массы | Лучше чем ±0.1 amu за 8 часов при стабильной температуре | pdf_vision |
| Разрешение | Лучше чем 10% ширины на уровне полувысоты по всему массовому диапазону | pdf_vision |
| Температура бейкаут и бейкаут-кожух | Опционально до 200°C бейкаут, 175W на 100-120Vac или 205-240 Vac | pdf_vision |
| Фланец | DN35CF (70мм2.75" OD ConFlat® фланец) | pdf_vision |
| Ионный источник | Открытый ионный источник | pdf_vision |
| Нити | Взаимозаменяемые нити из вольфрама или тория | pdf_vision |
| Масс-фильтр | Двойной фильтр (1" RF пре-фильтр с 4" главным фильтром) | pdf_vision |
| Пневматика | 80-90 psi CDA | pdf_vision |
| Вес контрольного модуля | 1.7 кг | pdf_vision |
| Питание | 24 VDC, 3.4A, внешний блок (включен), 100-120V/200-240V, 2.1 Amp, 47-63 Hz | pdf_vision |
| Рабочие условия | Электроника: 10-40°C, 80% RH (без конденсации) | pdf_vision |
| Индикация готовности | Межблочный статус, связь OK (SEM, питание и коммуникации) | pdf_vision |
| Другие возможности | Гнездо проверки утечки, внешний сброс нити и сброс инструмента | pdf_vision |
| Программное обеспечение | Process Eye Professional под Microsoft® Windows® 2000, XP® или Vista® (рекомендуется) | pdf_vision |
| Связь | Ethernet CAT5e | pdf_vision |
| Общий вес доставки | 25 фунтов (11.4 кг) | pdf_vision |
| Соответствие | CE | pdf_vision |
Документы
Vision 2000-B предназначен для отслеживания уровней потенциально вредных остаточных газов, которые могут негативно повлиять на качество продукта: например, на осаждении алюминия может негативно сказаться присутствие O
и H
O, приводящее к плохим характеристикам внутренней структуры пленки и шероховатости ее поверхности. Vision 2000-B использует технологию «smart head» от Microvision 2. Электронный модуль устанавливают непосредственно на головку анализатора и подключается к ПК системы через интерфейс локальной сети Ethernet.
Контроль вакуумной откачки, базовых условий и условий подсоса воздуха
Стандартный диапазон масс 100 а.е.м с (200 а.е.м или 300 а.е.м опционально)
Process Eye Professional или дополнительное программное обеспечение TOOLweb RGA
Возможность одновременной работы нескольких датчиков
Интеграция с устройствами отсечки и сигнализации
Уровни аварийных сигналов, которые динамич