Система обнаружения фоторезиста MKS Instruments 300 mm Resist-Torr XD
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (9)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-200 | blms_full |
| Нижний предел обнаружения | <15 ppb | blms_full |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | |
| PR_Index | индекс качества (FIR) для определения уровня остаточного фоторезиста | pdf_vision |
| Интерпретация_PR_Index | ряд тестовых пластин, высокий уровень - черная трендовая линия, тревога - желтая линия | pdf_vision |
| TOOLweb_RGA | опция интеграции сенсора, полностью автоматизированная система мониторинга процессов | pdf_vision |
| Кадр_схемы | Чертеж с размерами, размеры в мм, если не указано иное | pdf_vision |
| Размеры_на_чертеже | 213, 571, 265, 186, 312, 653.0 (ВИД С ПЕРЕДНЕЙ ПАНЕЛИ ВЫКЛЮЧЕНА) | pdf_vision |
Документы
300-миллиметровый Resist-Torr XD использует технологию V-lens повышающую проверенную производительность 300 mm Resist-Torr до нового уровня чувствительности, селективности и уверенности в применении дегазации по сравнению с обычными квадрупольными масс-спектрометрическими анализаторами остаточных газов.
300 mm Resist-Torr XD преодолевает проблемы, возникающие при использовании таких сложных газов как аргон, которые не могут решить ограниченные возможности обнаружения обычных систем. В сочетании с уникальным PR-индексом от MKS, эта мощная платформа обеспечивает явное преимущество для контроля и обнаружения следовых газов.
Обнаружение загрязнения фоторезиста при дегазации под высоким давлением (~8 Торр)
Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb)
Достоверное различие между газами и фоном
2-кратное улучшение абсолютной чувствительности - благодаря улучшенной фокуси