Гибридные турбомолекулярные насосы Pfeiffer Vacuum ATP 2300M
Бренд: Pfeiffer ✓ обогащена PDF
Характеристики (59)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Габариты (ДxШxВ), мм | 315 x 278 | blms_full |
| Вес, кг | 52 | blms_full |
| Температура охлаждающей жидкости, °C | 15–40 | blms_full |
| Частота вращения, об/мин | 31 000 | blms_full |
| Скорость откачки по N₂, л/с | 1450–1950 | blms_full |
| Скорость откачки по H₂, л/с | 1600-1700 | blms_full |
| Скорость откачки по He, л/с | 1700-2050 | blms_full |
| Скорость откачки по Ar, л/с | 1400-1900 | blms_full |
| Коэффициент сжатия N₂ | > 1 · 10⁸ | blms_full |
| Коэффициент сжатия H₂ | > 7 · 10³ | blms_full |
| Коэффициент сжатия He | > 1 · 10⁵ | blms_full |
| Коэффициент сжатия Ar | > 1 · 10⁸ | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/ч | 60 | blms_full |
| Уровень шума, дБ | < 46 | blms_full |
| Pumping speed N2 | 1450-1950 l/s | pdf_vision |
| Pumping speed Ar | 1400-1900 l/s | pdf_vision |
| Pumping speed He | 1700-2250 l/s | pdf_vision |
| Pumping speed H2 | 1650-2100 l/s | pdf_vision |
| Compression ratio (ISO 5302) N2 | >1·10^9 l/s | pdf_vision |
| Compression ratio (ISO 5302) Ar | >1·10^9 l/s | pdf_vision |
| Compression ratio (ISO 5302) He | >1·10^6 l/s | pdf_vision |
| Compression ratio (ISO 5302) H2 | >1·10^6 l/s | pdf_vision |
| Ultimate pressure | <4·10^-11 mbar | pdf_vision |
| Max. forevacuum N2 | 2.1 mbar | pdf_vision |
| Max. forevacuum Ar | 1.7 mbar | pdf_vision |
| Max. forevacuum He | 1.3 mbar | pdf_vision |
| Max. forevacuum H2 | 1.0 mbar | pdf_vision |
| Max. inlet vacuum N2 | 0.94 mbar | pdf_vision |
| Max. inlet vacuum Ar | 0.811 mbar | pdf_vision |
| Max. inlet vacuum He | 0.2 mbar | pdf_vision |
| Модель | ATP 2300 M | pdf_vision |
| Тип | Турбомолекулярный вакуумный насос | pdf_vision |
| Макс. впускное давление He | 0.2 mbar | pdf_vision |
| Газовый поток при конечной скорости вращения N₂ | 2200 sccm | pdf_vision |
| Газовый поток при конечной скорости вращения Ar | 800 sccm | pdf_vision |
| Газовый поток при конечной скорости вращения He | ≥ 2800 sccm | pdf_vision |
| Газовый поток при конечной скорости вращения H₂ | > 3000 sccm | pdf_vision |
| Рекомендуемая скорость продувки | 50 sccm | pdf_vision |
| Скорость вращения | 31000 rpm | pdf_vision |
| Регулируемая скорость вращения | 1000 rpm до номинальной скорости | pdf_vision |
| Время разгона до 90% конечной скорости вращения, с давлением | < 8 min | pdf_vision |
| Контроллер / источник питания | 200-240 V, 50/60 Hz, однофазный | pdf_vision |
| Макс. потребляемая мощность при запуске | 1000 W | pdf_vision |
| Номинальная мощность (режим ожидания) | 150 W | pdf_vision |
| Макс. температура запекания | 140 °C | pdf_vision |
| Рекомендуемый расход охлаждающей воды | 60 l/h | pdf_vision |
| Температура охлаждающей воды | 15-40 °C | pdf_vision |
| Тип дистанционного контроллера | Magneticve | pdf_vision |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | ADP40BS | pdf_vision |
| Уровень звукового давления (УЗД 6219/1) на расстоянии 1 м пр | < 48 dB(A) | pdf_vision |
| Вибрация на уровне номинальной скорости | < 0.01 µm | pdf_vision |
| Габариты (Ø × H) | 219 x 298* mm | pdf_vision |
| Вес, примерно | 10 kg | pdf_vision |
| Вес контроллера, примерно | 8.7 kg | pdf_vision |
| Впуск/выпуск газа | DN 250, DN 250 / DN 40 ISO-KF | pdf_vision |
| N₂ впускной фланец | DN16 ISO-KF | pdf_vision |
| Впускной экран из нержавеющей стали (заводская установка) | yes | pdf_vision |
| Допустимое магнитное поле (действующее значение на 10 см) | < 12 mT | pdf_vision |
| Опция платы управления | Profibus, Remote | pdf_vision |
Графики / чертежи
dimension_drawing
Даташит Pfeiffer ATP 2300 M: габаритный чертёж, график скорости откачки и спецификационная таблица (турбомолекулярный вакуумный насос)
Документы
Насос ATP 2300M это высокопроизводительное решение, применяемое в вакуумных приложениях, где требуется высокая скорость откачки одновременно с высокой пропускной способностью (до 3000 см3/мин по азоту). Также насос применяется, как для легких, так и для агрессивных процессов в различных областях промышленности:
ионная имплантация
HDPCVD процессы
напыление
напыление тонкоплёночных покрытий
научные исследования и прочее
Особенности и преимущества
высокое среднее время наработки на отказ
низкий уровень шума и вибраций
абсолютно безмасляный вакуум
компактные размеры
магнитный подвес не требующий обслуживания
установка в любой ориентации
регулируемая скорость вращения ротора для оптимизации параметров откачки
модификация со встроенным контроллером
Габариты (ДxШxВ), мм
315 x 278
Обогащение
Официальная страница: https://www.pfeiffervacuum.com/at/de/product/atp-2300-m.html