Винтовой насос Pfeiffer Vacuum COBRA DS 1800 AX
Бренд: Pfeiffer PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (13)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN 160 ISO-K | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 40 ISO-KF | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1124 x 426 x 750 | blms_full |
| Вес, кг | 520 | blms_full |
| Производительность, м³/ч | 1365 – 1640 | blms_full |
| Мощность, кВт | 7,1 | blms_full |
| Частота вращения, об/мин | 3600 | blms_full |
| Предельное давление, мбар | 0,003 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/ч | 8 | blms_full |
| Температура окр. среды, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Расход азота, л/мин | 75 | blms_full |
| Уровень шума, дБ | < 62 | blms_full |
| Air at 20°C. Tolerance | ± 10% |
Документы
📄 Product_Leaflet_COBRA_DS_0080_0160_G_Global_DE.pdf 📄 Product_Leaflet_COBRA_DS_0080_0160_G_Global_EN.pdf 📄 Instruction_Manual_Busch_Monitoring_System_2.0_EN_en.pdf 📄 Instruction_Manual_Busch_PLC_2.0_and_Busch_LCD_EN_en.pdf
• Новое поколение сухих вакуумных насосов, разработанных для сложных полупроводниковых процессов
• Усовершенствованная конструкция винта
• Работа в сухом и бесконтактном режиме
• Отличная работа с порошкообразными материалами
• Эффективное непрямое водяное охлаждение
• Компактная конструкция, готовая к установке
• Высокая скорость откачки водорода
• Высокоэффективный двигатель
• Доступны модели со встроенным вакуумным усилителем
Преимущества серии COBRA DS
Сухие винтовые вакуумные насосы Pfeiffer Vacuum COBRA DS являются идеальными генераторами вакуума для сложных полупроводниковых применений, особенно там, где требуется высокая производительность по водороду. Поэтому они идеально подходят для химического осаждения из газовой фазы, быстрой термообработки и атомно-слоевого осаждения.
В линейке представлены модели, оборудованные мощным вакуумным усилителем. Такое решение позволяет значител