Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M
Бренд: Pfeiffer PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (23)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN200/DN250 | blms_full |
| Фланец (выход) | DN40 | blms_full |
| Вес, кг | 42 | blms_full |
| Частота вращения, об/мин | 39 000 | blms_full |
| Скорость откачки по N₂, л/с | 1400 | blms_full |
| Скорость откачки по H₂, л/с | 540 | blms_full |
| Скорость откачки по He, л/с | 970 | blms_full |
| Скорость откачки по Ar, л/с | 1350 | blms_full |
| Предельное остаточное давление N₂, мбар | 1,7 | blms_full |
| Предельное разряжение, мбар | < 6 · 10⁻⁹ | blms_full |
| Тип охлаждения | Водяное | blms_full |
| Контроллер | OBC/Magpower | blms_full |
| Cooling water temperature max. 40 °C | 104 °F | 313 K | |
| Fore-vacuum max. for N2 1.7 hPa | 1.27 Torr | 1.7 mbar | |
| Gas throughput for Ar 20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s | |
| Gas throughput for H2 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s | |
| Gas throughput for He > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s | |
| Gas throughput for N2 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s | |
| Rotation speed ± 2 % 39,000 rpm | 39,000 min-1 | |
| Ultimate pressure < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar | |
| Weight 34 kg | 74.96 lb | |
| DN160 | ATH 1600 M, DN 200/250; ATH 2300 | |
| Please contact us | T +49 6441 802-0 |
Графики / чертежи
performance_chart
Техническая страница даташита турбомолекулярного насоса Pfeiffer ATH 1603 M: описание характеристик (DN 250 ISO-F, водяное охлаждение), график скорости откачки S (л/с) от давления для N2/H2/He/Ar и график мощности от давления впуска.
Документы
📄 Product_Leaflet_ATH_1600_1603_MT_M_Global_EN.pdf 📄 Instruction_Manual_ATH_1603_2303_M_EN_en.pdf 📄 Instruction_Manual_ATH_1603_2303_M_DE_de.pdf
Насосы серии АТН-М относятся к классу больших гибридных турбонасосов и сочетают в себе две последовательно выстроенные ступени: турбомолекулярную и молекулярную. Первая ступень обеспечивает высокую скорость откачки и глубокое разряжение, а вторая - большие степени сжатия и широкий диапазон допустимых давлений на фланце выхлопа.
Ротор всех насосов этой серии имеет магнитный подвес, что исключает применение смазки и делает серию АТН-М абсолютно безмасляной. Это же обстоятельство, в отличие от насосов на подшипниках качения, обеспечивает отсутствие трения. Таким образом, насосы серии АТН-М, при использовании их в чистых процессах, не требуют периодического обслуживания. Во многих применениях такого рода АТН-М непрерывно работают многие годы без единого вмешательства.
Геометрия поверхностей ротора и статора каждой модели АТН-М вычислена при помощи компьютера. При этом ключевыми условиями бы