| Параметр | Значение | Источник |
|---|
| Рабочая температура, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Соединительный фланец | NW16 ISO-KF; NW25 ISO-KF | blms_full |
| Макс. температура отжига, °C | 85 | blms_full |
| Тип сенсора | MicroPirani | blms_full |
| Дисплей | Опционально | blms_full |
| Диапазон измерений, Torr | 10⁻⁵ – 760 | blms_full |
| Макс. давление, Torr | 3 000 | blms_full |
| Интерфейс | RS485; RS232 | blms_full |
| Модель | 925 MicroPirani | pdf_vision |
| Связь | RS232/RS485/EtherCAT | pdf_vision |
| Аналоговый выход | 1 VDC/декаду | pdf_vision |
| Реле | 3 реле на 2 контакта + 2 аналоговых выхода | pdf_vision |
| Разъёмы | 15-pin D Subminiature и RJ45 EtherCAT IN/OUT | pdf_vision |
| Фланец NW 16 KF | 1.34 (34.03) дюйм | pdf_vision |
| Фланец NW 25 KF | 2.08 (52.83) | pdf_vision |
| Фланец NW 40 KF | 2.08 (52.83) | pdf_vision |
| 1/8" NPT M | 1.90 (48.26) | pdf_vision |
| 1/2" VCR | 2.13 (54.10) | pdf_vision |
| VCR | 2.94 (74.68) | pdf_vision |
| CF 1.33 | 2.30 (58.42) | pdf_vision |
| EtherCAT VCR 1.33 | 4.47 (113.54) | pdf_vision |
| Тип датчика | MicroPirani (MEMS, термопроводимость) | pdf_vision |
| Диапазон измерений | 1.0 x 10^-5 Торр до Атмосферы | pdf_vision |
| Диапазон уставок | 5.0 x 10^-4 Торр до 500 Торр | pdf_vision |
| Калибровочный газ | Азот, Аргон, Гелий, Криптон, Ксенон, Неон | pdf_vision |
| Диапазон рабочих температур | 0° to 40°C (32° to 104°F) | pdf_vision |
| Максимальная температура отжига | 80°C (176°F), нерабочее состояние | pdf_vision |
| Связь | RS485, RS232 (4800 to 230400 Baud) | pdf_vision |
| Аналоговый выход | 1 to 9 VDC, 1000Ω макс. выходное сопротивление, 1 вольт/декада | pdf_vision |
| Разрешение аналогового выхода | 16 бит | pdf_vision |
| Реле (опционально) | 995 – 3 реле SPDT | pdf_vision |
| Нагрузка контактов реле | 1 A @ 30 VAC/DC, резистивная | pdf_vision |
| Время отклика реле | <100 мсек максимум | pdf_vision |
| Требования к питанию | 9 to 30 VDC, < 1.5 ватт макс | pdf_vision |
| Повторяемость (типичная) | 10^-3 to 100 Торр ±2% от показания | pdf_vision |
| Предел избыточного давления | 3000 Торр абсолютное | pdf_vision |
| Ориентация установки | Любая | pdf_vision |
| Внутренний объем (KF16) | 2.80 см³ | pdf_vision |
| Материалы, контактирующие с вакуумом | 304 нерж. сталь, кремний, SiO2, Si3N4, золото, Viton, эпоксидная смола без газовыделения | pdf_vision |
| Электронный корпус и фланец | 304 нерж. сталь | pdf_vision |
| Вес (KF16) | 170 г | pdf_vision |
| Соответствие стандартам | CE, ETG 50003:2060 Вакуумный манометр | pdf_vision |
925 Micro Pirani - это вакуумметр теплопроводности, основанный на уникальном датчике вакуума на основе MEMS (микроэлектромеханические системы). 925 Micro Pirani использует аналоговый выход, цифровой интерфейс и реле уставки для управления технологическим процессом.
Абсолютный диапазон измерения от 10-5 торр до атмосферы
Датчик MicroPirani устойчив к повреждениям от воздушных потоков или вибрации
Аналоговые версии, RS232, RS485 и EtherCAT
Опционально доступен встроенный дисплей для индикации давления
Три дополнительных реле уставки для управления процессом
Рабочая температура, °C
0 – 40
Соединительный фланец
NW16 ISO-KF; NW25 ISO-KF
Макс. температура отжига, °C
Тип сенсора
MicroPirani
Дисплей
Опционально
Диапазон измерений, Torr
10⁻⁵ – 760
Макс. давление, Torr
3 000
Интерфейс
RS485; RS232
Спецификация MKS Instruments MicroPirani 925
528,6 Кб
ООО "БЛМ Синержи" осуществляет поставки оборудо
Источник: https://blms.ru/catalog/vakuumnoe-oborudovanie/vakuummetry/vakuummetry-mks/mks-instruments-micropirani-925/