Вакуумметр MKS Instruments 392 Micro-Ion
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (51)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 10 – 40 | blms_full |
| Соединительный фланец | NW25 ISO-KF | blms_full |
| Макс. температура отжига, °C | 105 | blms_full |
| Тип сенсора | Micro-Ion / Pirani | blms_full |
| Дисплей | Опционально | blms_full |
| Диапазон измерений, Torr | 10⁻⁹ – 760 | blms_full |
| Интерфейс | RS485; EtherCAT | blms_full |
| Torr • 1x10-8 to 100 mTorr | ±15% of Reading; 100 mTorr to 150 Torr: ±10% of Reading | |
| mbar • 1.33x10-8 to 0.133 mbar | ±15% of Reading; 0.133 to 200 mbar: ±10% of Reading | |
| Pascal • 1.33x10-6 to 13.3 Pa | ±15% of Reading; 13.3 to 2.00x104 Pa: ±10% of Reading | |
| Torr • 1x10-8 to 100 mTorr | ±5% of Reading; 100 mTorr to 150 Torr: ±2.5% of Reading | |
| mbar • 1.33x10-8 to 0.133 mbar | ±5% of Reading; 0.133 to 200 mbar: ±2.5% of Reading | |
| Pascal • 1.33x10-6 to 13.3 Pa | ±5% of Reading; 13.3 to 2.00x104 Pa: ±2.5% of Reading | |
| Ionization Gauge On • 2x10-2 Torr | 2.66x10-2 mbar; 2.66 Pa, with decreasing pressure | |
| Switch to High Emission • 5x10-6 Torr | 6.66x10-6 mbar; 6.66x10-4 Pa, with decreasing pressure | |
| Switch to Low Emission • 1x10-5 Torr | 1.33x10-5 mbar; 1.33x10-3 Pa, with increasing pressure | |
| RS-485/Analog DIM B | 6.2 cm, (2.4 in) | |
| DeviceNet™/EtherCAT® DIM B | 7.9 cm, (3.1 in) | |
| Диапазон абсолютного давления (Torr) | 1×10⁻¹⁰ в атмосферу | pdf_vision |
| Диапазон абсолютного давления (mbar) | 1.33×10⁻¹⁰ в атмосферу | pdf_vision |
| Диапазон абсолютного давления (Pascal) | 1.33×10⁻⁸ в атмосферу | pdf_vision |
| X-ray Limit (Torr) | <3×10⁻¹¹ | pdf_vision |
| X-ray Limit (mbar) | <4×10⁻¹¹ | pdf_vision |
| X-ray Limit (Pascal) | <4×10⁻⁹ | pdf_vision |
| Точность (Torr) | 1×10⁻⁹ – 100 Torr: ±15% показания; 100–150 Torr: ±10% показания | pdf_vision |
| Точность (mbar) | 1.33×10⁻⁹ – 133 mbar: ±15% показания; 133–200 mbar: ±10% показания | pdf_vision |
| Точность (Pascal) | 1.33×10⁻⁷ – 1.33 Pa: ±15% показания; 1.33–20000 Pa: ±10% показания | pdf_vision |
| Повторяемость (Torr) | 1×10⁻⁹ – 100 Torr: ±5% показания; 100–150 Torr: ±2.5% показания | pdf_vision |
| Повторяемость (mbar) | 1.33×10⁻⁹ – 133 mbar: ±5% показания; 133–200 mbar: ±2.5% показания | pdf_vision |
| Повторяемость (Pascal) | 1.33×10⁻⁷ – 1.33 Pa: ±5% показания; 1.33–20000 Pa: ±2.5% показания | pdf_vision |
| Время отклика | <25 миллисекунд | pdf_vision |
| Аналоговые выходы (абсолютное давление) | Логарифмический 0.5–7.0 ВДС, 0.5 В/декада | pdf_vision |
| Цифровые коммуникации | RS485, EtherCAT, DeviceNet | pdf_vision |
| Рабочая температура | 10°C – 40°C (50°F – 104°F), без конденсации | pdf_vision |
| Температура хранения | -40° – 70°C (-40° – 140°F) | pdf_vision |
| Температура запекания | 105°C (221°F) максимум, без электроники | pdf_vision |
| Ток эмиссии ионизационного датчика | Авторегулирование | pdf_vision |
| Автоматическое включение ионизационного датчика | 2×10⁻⁴ Torr, 2.66×10⁻⁴ mbar, 2.66 Pa, при снижении давления | pdf_vision |
| Автоматическое выключение ионизационного датчика | 3×10⁻⁴ Torr, 3.99×10⁻⁴ mbar, 3.99 Pa, при повышении давления | pdf_vision |
| Переключение на высокую эмиссию | 5×10⁻⁶ Torr, 6.66×10⁻⁶ mbar, 6.66×10⁻⁴ Pa, при снижении давления | pdf_vision |
| Переключение на низкую эмиссию | 11×10⁻⁶ Torr, 1.53×10⁻⁵ mbar, 1.53×10⁻³ Pa, при повышении давления | pdf_vision |
| Датчик ионизации | Электронная бомбардировка; 3 ватта за 1 минуту/элемент | pdf_vision |
| Материал ионизационного датчика | Вольфрам или иттрия-катодированный иридий | pdf_vision |
| Режим нити | Чередующиеся (по умолчанию), автоматический, ручной (вольфрам по умолчанию) | pdf_vision |
| Провода датчика потери тепла | Золото-платиновая толстая проволока | pdf_vision |
| Объем датчика | 10.8 см³ (0.65 in³) | pdf_vision |
| LED индикатор | Статус модуля | pdf_vision |
| Optional Display | Graphics LCD | pdf_vision |
| Weight | 728.5 gni (25.7 oz) 8.73 CoriStat® fitting | pdf_vision |
| Case Material | Aluminum extrusion with powder-coat | pdf_vision |
| Compliance | CE, ETG 5003.1, ETG 90003.2, ETG 5003.2,B60 | pdf_vision |
Документы
Серия 392 Micro-Ion Plus - это модуль полного диапазона измерения давления второго поколения, который сочетает в себе стандартную технологию микро-ионного ионизационного датчика с миниатюрным датчиком теплопотери Pirani Conductron для обеспечения точного непрерывного измерения давления от высокого вакуума до атмосферы.
Непрерывное измерение давления от 10
торр до атмосферного
Двойные нити ионизационного датчика, увеличивающие время безотказной работы оборудования
RS-485 и DeviceNet имеют дополнительные реле уставки для управления процессом
Автоматизация включения и выключения ионизационного датчика
Сменный узел манометра для низкой стоимости владения
Рабочая температура, °C
10 – 40
Соединительный фланец
NW25 ISO-KF
Макс. температура отжига, °C
105
Тип сенсора
Micro-Ion / Pirani
Дисплей
Опционально
Диапазон измерений, Torr
10⁻⁹ – 760
Интерфейс
RS485; EtherCAT
Спецификация MKS Instruments