Регулятор массового расхода MKS Instruments GE50A
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (35)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Вес, кг | 1,4 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 50 | blms_full |
| Диапазон регулирования (полной шкалы) | от 2 до 100 % | blms_full |
| Диапазон расхода, sccm | 5 - 50 000 | blms_full |
| Материал уплотнения | 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy, Nickel | blms_full |
| Макс. давление на входе | 150 psig | blms_full |
| Перепад рабочего давления | 10 - 5 000 sccm | blms_full |
| Рабочее давление | 1 000 psig | blms_full |
| Давление разрыва | 1 500 psig | blms_full |
| Время реагирования | <750 мс | blms_full |
| Время прогрева, мин. | 30 | blms_full |
| Kbps | 500 Kbps 38.4 Kbps | |
| Addresses 10 positions | 2 switches, 3 switches, | |
| Full Scale Range (N2 equivalent) | 5 - 50000 sccm | pdf_vision |
| Maximum Inlet Pressure | 150 psig (can not exceed pressure differential requirement across MFC) | pdf_vision |
| Proof Pressure | 1000 psig | pdf_vision |
| Burst Pressure | 1500 psig | pdf_vision |
| Control Range | 2% to 100% of Full Scale (range on mech.) | pdf_vision |
| Typical Accuracy (with N2 calibration gas) | <± 1% of Reading for 20 to 100% Full Scale; <±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale | pdf_vision |
| Repeatability | ±0.3% of Reading | pdf_vision |
| Resolution | 0.1% of Full Scale | pdf_vision |
| Inlet Pressure Coefficient | <0.02% of Reading/psi | pdf_vision |
| Warm-up Time | <30 min (to within 0.2% of Full Scale of steady state performance) | pdf_vision |
| Typical Controller Settling Time (per SEMI Grade E-17-10000) | <750 msec., typical above 5% Full Scale | pdf_vision |
| Operating Temperature Range (Ambient) | 10°C to 50°C | pdf_vision |
| Storage Humidity | 0 to 95% relative humidity, non-condensing | pdf_vision |
| Storage Temperature | -20° to 80°C (-4° to 144°F) | pdf_vision |
| Leak Integrity - External (scc/He) | <1 x 10^-9 | pdf_vision |
| Wetted Materials - Seals and Valve Seat | Viton, Buna-N, Neoprene, Kalrez, EPDM | pdf_vision |
| Surface Finish | 10µ inch average Ra | pdf_vision |
| Weight | <3 lbs (1.4kg) | pdf_vision |
| Input Power Required | +15 to +24 VDC @ (<4 watts) | pdf_vision |
| Flow Input/Output Signal - Voltage (0 to 5 VDC) | 15 pin Type "D" male, 9 pin Type "D" male | pdf_vision |
| Flow Input/Output Signal - Current (4 to 20 mA) | 15 pin Type "D" male | pdf_vision |
| Compliance | CE | pdf_vision |
Документы
Контроллер GE50A с цифровым управлением доступен с портами ввода/вывода RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET или DeviceNet. Электроника с цифровым управлением использует новейшие алгоритмы управления MKS для быстрого и воспроизводимого отклика на заданное значение во всем диапазоне управления устройством. Стандартное время отклика составляет порядка 500 миллисекунд. Все GE50A включают Modbus в качестве доступного вторичного ввода-вывода (за исключением PROFINET и EtherCAT). Цифровая калибровка обеспечивает точность калибровочного газа в 1% от заданного значения.
Расход от 5 до 50 000 sccm
Варианты уплотнительной заглушки и клапана из Витона, Буна, Неопрена или Калреза
Широкий выбор цифровых (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET и RS485) или аналоговых (0–5 В или 4–20 мА) входов/выходов
Стандартная скорость утечки закрытой проводимости менее 0,1% от полной шкалы
Время реагирования менее