Регулятор массового расхода MKS Instruments GM100A
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (79)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Вес, кг | 1,4 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 50 | blms_full |
| Диапазон регулирования (полной шкалы) | от 2 до 100% | blms_full |
| Диапазон расхода, sccm | 50 000 – 100 000 | blms_full |
| Материал уплотнения | 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy, Nickel | blms_full |
| Макс. давление на входе | 150 psig | blms_full |
| Перепад рабочего давления | 50 000 - 100 000 sccm | blms_full |
| Рабочее давление | 1000 psig | blms_full |
| Давление разрыва | 1500 psig | blms_full |
| Время реагирования | <750 мс | blms_full |
| Время прогрева, мин. | 30 | blms_full |
| Kbps | 500 Kbps 38.4 Kbps | |
| Addresses 10 positions | 2 switches, 3 switches, | |
| Full_Scale_Flow_Ranges | 50,000 - 100,000 sccm | pdf_vision |
| Maximum_Inlet_Pressure_MFC | 150 psig (cannot exceed pressure differential requirement across MFC) | pdf_vision |
| Maximum_Inlet_Pressure_MFM | 500 psig | pdf_vision |
| Normal_Operating_Pressure_Differential | 50,000 - 100,000 sccm; 40 to 80 psid (with atmospheric pressure at the MFC outlet) | pdf_vision |
| Proof_Pressure | 1000 psig | pdf_vision |
| Burst_Pressure | 1500 psig | pdf_vision |
| Control_Range | 2% to 100% of Full Scale (range on mech.) | pdf_vision |
| Repeatability | +/-0.3% of Reading | pdf_vision |
| Resolution | 0.1% of Full Scale | pdf_vision |
| Temperature_Coefficient_Zero | +/-0.05% of Full Scale/°C | pdf_vision |
| Temperature_Coefficient_Span | +/-0.08% of Reading/°C | pdf_vision |
| Inlet_Pressure_Coefficient | -0.023% of Reading/psia | pdf_vision |
| Typical_Controller_Setting_Time | +/-750 msec., typical above 10% Full Scale | pdf_vision |
| Typical_Response_Time_to_Step | less than 250 msec. to within +/-2% of Setpoint | pdf_vision |
| Warm_up_time | 30 minutes | pdf_vision |
| Operating_Temperature_Range | 10°C to 50°C | pdf_vision |
| Storage_Humidity | 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing | pdf_vision |
| Storage_Temperature | -20° to 80°C (-4 to 149°F) | pdf_vision |
| Fittings | Swagelok® VCR® high flow male, Swagelok 8 VCR male, 1/2" Swagelok, 10mm Swagelok, KF-16 | pdf_vision |
| Leak_Integrity_External | -1 x 10-9 | pdf_vision |
| Leak_Integrity_Through_Closed_Valve | <2 x 10-4 of Full Scale at 40 psig inlet to atmosphere | pdf_vision |
| Wetted_Materials_Valve_Seat | Viton®, Buna, EPDM or Neoprene | pdf_vision |
| Surface_Finish_MFC | 10µ inch average Ra (electropolished) | pdf_vision |
| Surface_Finish_MFM | 10µ inch average Ra | pdf_vision |
| Weight | ~3 lbs (1.4Kg) | pdf_vision |
| Input_Power_Required | +15 to+24 VDC @ (+3 watts) | pdf_vision |
| Flow_Input_Output_Voltage | 0 to 5 VDC; 15 pin Type 'D' male; 9 pin Type 'D' male | pdf_vision |
| Flow_Input_Output_Current | (4 to 20 mA); 15 pin Type 'D' male | pdf_vision |
| Compliance | CE | pdf_vision |
| Digital I/O - Входное питание | не указано (см. спецификацию) | pdf_vision |
| DeviceNet - Входное питание | 11–25 VDC, до 5 Вт | pdf_vision |
| RS485 - Входное питание | 15–24 VDC, до 4 Вт | pdf_vision |
| Profibus - Входное питание | 15–24 VDC, до 4 Вт | pdf_vision |
| EtherCAT - Входное питание | 24 VDC, до 5 Вт | pdf_vision |
| PROFINET - Входное питание | 24 VDC, до 5 Вт | pdf_vision |
| DeviceNet - Разъём | 5-pin micro connector (power and comm.) | pdf_vision |
| RS485 - Разъём | 9-pin Type D male (power and comm.) | pdf_vision |
| Profibus - Разъём | 9-pin Type D male (power); 3-pin Type D female (comm.) | pdf_vision |
| EtherCAT - Разъём | 2 x RJ-45 (comm.) male, M8 male, 5 pin (power) | pdf_vision |
| PROFINET - Разъём | 2 x RJ-45 (comm.) male, M8 male, 5 pin (power) | pdf_vision |
| DeviceNet - Переключатели/скорость | 4 позиции: 125к, 250К, 500К бод, устанавливается программно | pdf_vision |
| RS485 - Переключатели | Нет переключателя, установка скорости через RS485 | pdf_vision |
| Profibus - Переключатели | Нет переключателя, установка через Profibus | pdf_vision |
| EtherCAT - Переключатели | Нет переключателя | pdf_vision |
| PROFINET - Переключатели | Нет переключателя | pdf_vision |
| DeviceNet - Скорости связи | 125 Kbps, 250 Kbps, 500 Kbps | pdf_vision |
| RS485 - Скорости связи | 9.6 Kbps, 19.2 Kbps, 38.4 Kbps | pdf_vision |
| Profibus - Скорости связи | 9.6 Kbps to 12 Mbps | pdf_vision |
| EtherCAT - Скорости связи | 100 Mbps | pdf_vision |
| PROFINET - Скорости связи | 100 Mbps | pdf_vision |
| DeviceNet - MAC ID | 2 переключателя, 10 позиций, 0-63, 1-64 узла | pdf_vision |
| RS485 - Адрес | Устанавливается через RS485, адреса 00-99 | pdf_vision |
| Profibus - Адрес | 2 переключателя, 10 позиций | pdf_vision |
| EtherCAT - Адрес | 3 переключателя, 16 позиций | pdf_vision |
| PROFINET - Адрес | N/A | pdf_vision |
| DeviceNet - Размер сети | до 64 узлов | pdf_vision |
| RS485 - Размер сети | до 99 узлов | pdf_vision |
| Profibus - Размер сети | до 99 узлов | pdf_vision |
| EtherCAT - Размер сети | до 4095 узлов | pdf_vision |
| PROFINET - Размер сети | N/A | pdf_vision |
| DeviceNet - Индикаторы | LED Network (green), LED Module (green) | pdf_vision |
| RS485 - Индикаторы | LED Comm (yellow), LED Error (red) | pdf_vision |
| Profibus - Индикаторы | LED Comm (green/red), LED Error (green/red) | pdf_vision |
| EtherCAT - Индикаторы | LED Power (green), LED Run (green), LED Error (red), LED Comm (green) | pdf_vision |
| PROFINET - Индикаторы | LED Maint (amber), LED BUS Fault (red), LED Ready (green), LED Link (green) | pdf_vision |
| Соответствие (все интерфейсы) | CE | pdf_vision |
Документы
Контроллер GM100A с цифровым управлением доступен либо с аналоговым (от 0 до 5 VDC или от 4 до 20 мА), либо с вводом/выводом RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET или DeviceNet. Электроника с цифровым управлением использует новейшие алгоритмы управления MKS для быстрого и воспроизводимого отклика на заданное значение во всем диапазоне управления устройством. Стандартное время отклика составляет порядка 500 миллисекунд. Все GE50A включают Modbus в качестве доступного вторичного ввода-вывода (за исключением PROFINET и EtherCAT). Цифровая калибровка обеспечивает точность калибровочного газа в 1% от заданного значения.
Расход от 50 000 до 100 000 sccm
Металлическое уплотнение и заглушка из эластомера
Широкий выбор цифровых (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET и RS485) или аналоговых (0–5 В или 4–20 мА) входов/выходов
Стандартная скорость утечки закрытой проводимости менее 1% от полной шкал