Винтовой насос Pfeiffer Vacuum COBRA DS 0600 E
Бренд: Pfeiffer ✓ обогащена PDF
Характеристики (31)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN 100 | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 63 | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1654 x 600 x 747 | blms_full |
| Вес, кг | 745 | blms_full |
| Производительность, м³/ч | 600 | blms_full |
| Мощность, кВт | 9 | blms_full |
| Частота вращения, об/мин | 3600 | blms_full |
| Предельное давление, мбар | 0,01 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/ч | 6 | blms_full |
| Температура окр. среды, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Расход азота, л/мин | 200 | blms_full |
| Air at 20°C. Tolerance | ± 10% | |
| Модель | COBRA DS 0600 E | pdf_vision |
| Тип | Dry screw vacuum pump | pdf_vision |
| Номинальная быстрота откачки | 600 m³/h (50 / 60 Hz) | pdf_vision |
| Предельное давление | 0.01 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) | pdf_vision |
| Номинальная мощность двигателя | 15 kW (50 / 60 Hz) | pdf_vision |
| Потребляемая мощность при предельном давлении | 14 kW (50 / 60 Hz) | pdf_vision |
| Номинальная скорость | 3600 min⁻¹ | pdf_vision |
| Уровень шума (ISO 2151) | < 70 dB(A) (50 / 60 Hz) | pdf_vision |
| Потребление воды | m/n: 6 l/min (50 / 60 Hz) | pdf_vision |
| Потребление азота | 0 - 200 l/min (50 / 60 Hz) | pdf_vision |
| Вес, прибл. | 745 kg | pdf_vision |
| Размеры (Д x Ш x В) | 1654 x 860 x 747 mm | pdf_vision |
| Впуск / выпуск газа | DN 100 / DN 63 | pdf_vision |
| Потребляемая мощность при предельном давлении | 9 kW (по таблице производителя; в нашей карточке 14 kW — расхождение) | producer |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1654 x 600 x 747 mm (подтверждено; в нашей карточке 860 мм — вероятно, опечатка) | producer |
| Потребление воды | 6 l/min | producer |
| Потребление азота | 0 – 200 l/min | producer |
| Уровень шума | < 70 dB(A), KpA = 3 dB | producer |
| Применение | LPCVD/Diffusion, Si Poly etch, PECVD, Metal & high K etch, ALD | producer |
Документы
📄 Product_Leaflet_COBRA_DS_0080_0160_G_Global_DE.pdf 📄 Product_Leaflet_COBRA_DS_0080_0160_G_Global_EN.pdf 📄 Instruction_Manual_Busch_Monitoring_System_2.0_EN_en.pdf 📄 Instruction_Manual_Busch_PLC_2.0_and_Busch_LCD_EN_en.pdf
• Новое поколение сухих вакуумных насосов, разработанных для сложных полупроводниковых процессов
• Усовершенствованная конструкция винта
• Работа в сухом и бесконтактном режиме
• Отличная работа с порошкообразными материалами
• Эффективное непрямое водяное охлаждение
• Компактная конструкция, готовая к установке
• Высокая скорость откачки водорода
• Высокоэффективный двигатель
• Доступны модели со встроенным вакуумным усилителем
Преимущества серии COBRA DS
Сухие винтовые вакуумные насосы Pfeiffer Vacuum COBRA DS являются идеальными генераторами вакуума для сложных полупроводниковых применений, особенно там, где требуется высокая производительность по водороду. Поэтому они идеально подходят для химического осаждения из газовой фазы, быстрой термообработки и атомно-слоевого осаждения.
В линейке представлены модели, оборудованные мощным вакуумным усилителем. Такое решение позволяет значител
Обогащение: данные производителя
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Потребляемая мощность при предельном давлении | 9 kW (по таблице производителя; в нашей карточке 14 kW — расхождение) | производ. |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1654 x 600 x 747 mm (подтверждено; в нашей карточке 860 мм — вероятно, опечатка) | производ. |
| Потребление воды | 6 l/min | производ. |
| Потребление азота | 0 – 200 l/min | производ. |
| Уровень шума | < 70 dB(A), KpA = 3 dB | производ. |
| Применение | LPCVD/Diffusion, Si Poly etch, PECVD, Metal & high K etch, ALD | производ. |
Жизненный цикл: active
Факты производителя: Насос активен; два варианта присоединения (ISO 50/ISO 60) с одинаковыми данными. Таблица производителя даёт потребляемую мощность при предельном давлении 9 кВт (у нас 14 кВт — расхождение) и ширину 600 мм (у нас 860 мм). Применения: полупроводниковые процессы LPCVD, PECVD, ALD, etch. Есть чертёж и кривая откачки в SVG. Опция: tantal-покрытие.