Безмасляные многоступенчатые насосы Pfeiffer Vacuum AD 600 H
Бренд: Pfeiffer PDF частично фото с blms.ru
Характеристики (13)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN 100 ISO-K | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 50 ISO-KF | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1234 x 604 x 806 | blms_full |
| Вес, кг | 830 | blms_full |
| Мощность, кВт | 5,5 | blms_full |
| Предельное давление, мбар | 0,02 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 8 | blms_full |
| Напряжение питания (3~) | 200-230 В | blms_full |
| Скорость откачки по N₂, м³/ч | 600 | blms_full |
| Скорость откачки по H₂, м³/ч | 550 | blms_full |
| Уровень шума, дБ | 65 | blms_full |
| Test done until 35 °C | regulation temperature at high pressure is 70 °C min at flow rate up to 100 slm | |
| Please contact us | T +49 6441 802-0 |
Документы
Pfeiffer Vacuum AD 600 H — базовая и самая компактная модель безмасляных многоступенчатых насосов серии ADH. Серия создана для требовательных процессов в производстве полупроводников, солнечных элементов и светодиодов. Пиковая быстрота откачки AD 600 H — 600 м³/ч по азоту и 550 м³/ч по водороду, предельное давление — 0,02 мбар.
Главная особенность модели — наибольший в серии допустимый длительный газовый поток на входе: 500 стандартных литров в минуту по азоту и 400 по водороду. Поэтому AD 600 H подходит для процессов с большой газовой нагрузкой, а максимальный объём откачиваемой камеры у неё самый большой в серии — 50 м³.
Насос оснащён двумя контурами водяного охлаждения с регулированием температуры и встроенной продувкой горячим азотом, которые защищают его от накопления порошка и конденсации продуктов процесса. Подшипники смазываются маслом и не требуют обслуживания на