← Каталог / Вакуумное оборудование

Регулятор массового расхода MKS Instruments GE250A

Бренд: MKS ✓ обогащена PDF

Характеристики (35)

ПараметрЗначениеИсточник
Вес, кг2,05blms_full
Рабочая температура, °C10 - 50blms_full
Диапазон регулирования (полной шкалы)от 2% до 100%blms_full
Диапазон расхода, sccm100 – 250blms_full
Макс. давление на входе150 psigblms_full
Перепад рабочего давления30 - 50 psidblms_full
Давление разрыва1500 psigblms_full
Время реагированияот 1 до 2 секунд выше 10% полной шкалы при 50 psiblms_full
Время прогрева, мин.60blms_full
Kbps500 Kbps 38.4 Kbpspdf
Addresses 10 positionsStation Addresses 2 switches, 3 switches, N/Apdf
Максимальный диапазон (N2 эквивалент)100 до 250 slmpdf_vision
Максимальное входное давление MFC/MFM150 psig (может не превышать требуемый перепад давления на MFC)pdf_vision
Нормальное рабочее дифференциальное давление (с атмосферным от 30 до 55 psid (зависит от типа фитинга)pdf_vision
Давление разрыва1500 psigpdf_vision
Диапазон управленияот 2% до 100% полной шкалы (диапазон на мех.)pdf_vision
Повторяемость±0,5% от показанияpdf_vision
Разрешение0,1% от полной шкалыpdf_vision
Температурные коэффициенты (ноль)< ±0,05% полной шкалы/°Cpdf_vision
Температурные коэффициенты (диапазон)< ±0,08% показания/°Cpdf_vision
Коэффициент входного давления<0,03% показания/psi или меньшеpdf_vision
Типовое время установления контроля1-2 секунды, типично выше 10% полной шкалы при 50 psipdf_vision
Время прогрева1 часpdf_vision
Рабочий диапазон температур (окружающая среда)от 10°C до 50°Cpdf_vision
Влажность при храненииот 0 до 95% относительной влажности, без конденсацииpdf_vision
Температура храненияот -20°C до 65°C (-4°F до 149°F)pdf_vision
Утечка (внешняя, куб.см/сек He)<1 x 10^-9pdf_vision
Смачиваемые материалы316L S.S., 17-7 S.S., Elgiloy, 400FRpdf_vision
Варианты уплотненийViton, Buna, Neoprene, EPDM, Viton (USP Class VI Compliant)pdf_vision
Чистота поверхности MFC/MFM16 µinch средняя Rapdf_vision
Вес<4.5 фунта (2.05 кг)pdf_vision
Требуемая входная мощность+15 до +24 VDC @ (<4 ватт)pdf_vision
Сигнал входа/выхода потока - напряжение (от 0 до 5 VDC)15 pin Тип "D" malepdf_vision
Сигнал входа/выхода потока - ток (от 4 до 20 мА)15 pin Тип "D" malepdf_vision
СоответствиеCEpdf_vision

Графики / чертежи

dimension_drawing
Техническая спецификация и чертёж цифрового массового расходомера MKS: сравнительная таблица цифровых интерфейсов (DeviceNet, RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET) и чертёж с монтажными размерами и таблицей вариантов фланцев/фитингов

Документы

📄 nlwwg7xn3as75ary3vyb6zmkgfs4dejn.pdf
GE250A - это универсальные регуляторы массового расхода с уплотнением из эластомера, подходящие для широкого спектра применений. GE250A способен работать в диапазоне полной шкалы от 100 до 250 slm (эквивалент N2). Доступен либо с аналоговым, либо с цифровым вводом-выводом с использованием новейших алгоритмов управления для быстрого и воспроизводимого отклика на заданное значение. Доступ к функции multi-gas / multi-range (наряду с другими пользовательскими элементами управления) осуществляется через встроенный диагностический интерфейс контроллеров массового расхода, для работы которого не требуется специального программного или аппаратного обеспечения. Стандартный кабель Ethernet и широко доступный HTML-браузер с поддержкой JAVA - вот все необходимые инструменты. Критические параметры газа для типичных газов с высоким расходом уже сохранены в устройстве. Для настройки устройства достаточ

Обогащение

Официальная страница: https://www.mks.com/f/ge250a-ge300a-mass-flow-controller

Источник: https://blms.ru/catalog/vakuumnoe-oborudovanie/regulyator-raskhoda-gaza/mks-instruments-ge250a/