Вакуумметр с холодным катодом MKS Instruments 972B DualMag
Бренд: MKS PDF частично фото с blms.ru
Характеристики (8)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Соединительный фланец | NW25 ISO-KF; NW40 ISO-KF; NW25 KF; NW40 KF | blms_full |
| Макс. температура отжига, °C | 85 | blms_full |
| Тип сенсора | MicroPirani / Cold cathode | blms_full |
| Дисплей | Опционально | blms_full |
| Диапазон измерений, Torr | 1 · 10⁻⁸ – 760 | blms_full |
| Макс. давление, Torr | 1 500 | blms_full |
| Интерфейс | RS485; RS232; EtherCAT | blms_full |
Документы
Вакуумметр 972B DualMag выдаёт диапазон измерения от 1x10
Торр до атмосферного давления и сочетает в себе технологии инвертированного магнетрона с холодным катодом и MEMS-датчика теплопроводности MicroPirani. MicroPirani автоматически управляет датчиком с холодным катодом, для обеспечения оптимального давления воспламенения, предлагая при этом диапазон измерения на 1-2 десятка меньше, чем у традиционных манометров Пирани. За счет снижения давления активации холодного катода повышается надежность и увеличивается интервал обслуживания.
Абсолютное измерение от 10
Торр до атмосферы
Конструкция модуля анода с холодным катодом удобна для обслуживания пользователем, что сокращает время простоя
RS232, RS485 или EtherCAT/аналоговая связь
Датчик MicroPirani на основе MEMS обеспечивает низкое автоматическое давление включения холодного катода
MicroPirani автоматически обнуляется во время цикла отка