Регулятор массового расхода MKS Instruments GM50A/GM51A
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (12)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Вес, кг | 1,4 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 50 | blms_full |
| Диапазон регулирования (полной шкалы) | от 2% до 100% | blms_full |
| Диапазон расхода, sccm | 5–50 000 | blms_full |
| Макс. давление на входе | 150 psig | blms_full |
| Перепад рабочего давления | 10 - 5000 sccm; 10 000 - 20000 sccm; 30000 - 50000 sccm | blms_full |
| Рабочее давление | 1000 psig | blms_full |
| Давление разрыва | 1500 psig | blms_full |
| Время реагирования | <750 мс | blms_full |
| Время прогрева, мин. | 30 | blms_full |
| Kbps | 500 Kbps 38.4 Kbps | |
| Addresses 10 positions | 2 switches, 3 switches, |
Документы
Контроллер GM50A & GM51A с цифровым управлением доступен с аналоговым или RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET или DeviceNet вводом-выводом. Электроника с цифровым управлением использует новейшие алгоритмы управления MKS для быстрого и воспроизводимого отклика на заданное значение во всем диапазоне управления устройством. Стандартное время отклика составляет порядка 500 миллисекунд. Все GM50A включают Modbus в качестве доступного вторичного ввода-вывода (за исключением PROFINET и EtherCAT). Цифровая калибровка обеспечивает точность калибровочного газа в 1% от заданного значения.
Расход от 5 до 50 000 sccm
Металлический уплотнитель с тефлоновым клапаном
Широкий выбор цифровых (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET и RS485) или аналоговых (0–5 В или 4–20 мА) входов/выходов
Стандартная скорость утечки закрытой проводимости менее 1% от полной шкалы
Время реагирования менее 750 миллисеку