Высокочувствительный анализатор остаточных газов MKS Instruments Vision 2000-PXD
Бренд: MKS ✓ обогащена PDF
Характеристики (8)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Макс. рабочее давление, мбар | 0,01 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-100; 1-200; 1-300 | blms_full |
| Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея | 2,7 · 10⁻¹¹ гПа | blms_full |
| Соединительный фланец | DN 35 CF | blms_full |
| Нижний предел обнаружения | <15 ppb | blms_full |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | |
| продукт | Vision 2000-P™ XD | pdf_vision |
Графики / чертежи
dimension_drawing
Техническая страница документации Vision 2000-P XD: описания графиков ПО Process Eye Professional и TOOLweb RGA, скриншоты интерфейсов, и габаритный чертёж с размерами в миллиметрах
Документы
Система Vision 2000-P XD предназначена для контроля критических видов газа при выбранном давлении, начиная от базового вакуума и заканчивая 10 Торр. Он идеально подходит для контроля целостности вакуума, уровня загрязнения или динамики рабочих газов в полупроводниковых и тонкопленочных технологических инструментах PVD, а также для оповещения операторов об условиях, которые могут негативно повлиять на выход продукта. Vision 2000-P XD также включает технологию V-lens, которая выводит проверенную производительность системы Vision 2000-P на новый уровень чувствительности и надежности, ранее недостижимый с обычными квадрупольными системами масс-спектрометрии.
Контроль загрязнения PVD (включая углеводороды) до уровня ниже ppm
Более чистый базовый уровень и низкий уровень шума
Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb)
Программное обеспечение Process Eye Professional
Обогащение
Официальная страница: https://www.mks.com/f/vision-2000-b-rga-vacuum-baseline-monitor