Высокочувствительные масс-спектрометрические системы Vision 2000-CXD
Бренд: — PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (10)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Макс. рабочее давление, мбар | 0,001 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-300 | blms_full |
| Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея | 2,7 · 10⁻¹¹ гПа | blms_full |
| Соединительный фланец | DN 35 CF | blms_full |
| Нижний предел обнаружения | <15 ppb | blms_full |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | |
| наименование | Vision 2000-C XD / Vision 2000-E XD | pdf_vision |
| тип | Мобильная RGA платформа | pdf_vision |
| монтирование | на мобильной RGA платформе для транспортировки между камерами | pdf_vision |
Графики / чертежи
dimension_drawing
Страница datasheet: текст о мобильной RGA-платформе, Process Eye и TOOLweb RGA + чертёж габаритных размеров Vision 2000-C XD/E XD с размерами в мм
Документы
Системы Vision 2000-C XD позволяют осуществлять непрерывный контроль широкого спектра полупроводниковых применений, включая полные процессы ALD, CVD и травления, от базового вакуума до рабочих давлений до 700 Торр. Обе системы включают запатентованную технологию V-lens, которая выводит проверенные рабочие характеристики систем Vision 2000-C на новый уровень чувствительности и надежности, ранее недостижимый для обычных систем квадрупольной масс-спектрометрии.
Контроль во время очистки камеры, пассивации и осаждения
Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb)
Надежное различие между газами и фоном
Впускной клапан быстрого реагирования UniBloc для отбора проб при фоновом и технологическом давлениях
Интеграция с широким спектром инструментов ALD, CVD и Etch
В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов мо