Анализатор остаточного газа MKS Instruments HPQ3
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (30)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Макс. рабочее давление, мбар | 0,0013 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-100 | blms_full |
| Детектор | Чаша Фарадея | blms_full |
| Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея | 1 · 10⁻¹¹ гПа | blms_full |
| Соединительный фланец | DN 38 CF | blms_full |
| Нижний предел обнаружения | 5 ppm | blms_full |
| Maximum Recommended HPQ3 | 1e-3 Torr (1.3e-3 mbar) | |
| Operating Pressure HPQ3S | 8e-3 Torr (1e-2 mbar) – Application dependant | |
| Minimum Detection Limits Partial Pressure | 8e-11 Torr (1e-10 mbar) | |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non condensing) | |
| Interfaces • RJ45 socket | 10/100 Base-T Ethernet | |
| Mass Range | 1-100 amu | pdf_vision |
| Detector | Faraday | pdf_vision |
| Filaments | Twin; Tungsten or Thoria Coated Iridium | pdf_vision |
| Maximum Recommended Operating Pressure | HPQ2: 1e-3 Torr (1.3e-3 mbar), HPQ3S: 5e-3 Torr (6.2 mbar) - Application dependant | pdf_vision |
| Maximum Transient Burst Pressure | 4e-2 Torr (5e-2 mbar) - gas dependent | pdf_vision |
| Ion Source Sensitivity | 5e-5 A/mbar | pdf_vision |
| Minimum Detection Limits | Partial Pressure: 8e-11 Torr (1e-10 mbar), Concentration: 5ppm at 1e-5 Torr (1e-5 mbar) | pdf_vision |
| Mass Stability | +/- 0.1 amu over 8 hours at stable ambient | pdf_vision |
| Resolution | Better than 10% valley for peaks of equal height across mass range | pdf_vision |
| Bakeout Temperature | 250°C with electronics removed | pdf_vision |
| Operating Temperature | 200°C at flange with electronics <40°C | pdf_vision |
| Sensor Insertion Length | 25mm | pdf_vision |
| Mounting Flange | DN38CF (70mm/2.75inch OD) Conflat | pdf_vision |
| Electronics Weight on Flange | 1.7 kg | pdf_vision |
| Power | 24V DC, 3A external universal voltage supply (included) | pdf_vision |
| Maximum Operating Conditions | Electronics: 10-40°C, 80% RH (non condensing) | pdf_vision |
| Communication | 10/100 Base-T Ethernet, static or automatically assigned IP addresses | pdf_vision |
| Compliance | CE | pdf_vision |
Документы
Анализ остаточных газов (АОГ) является обычным диагностическим инструментом для любого вакуумного инженера, но обычный верхний рабочий предел общего давления 1*10
мбар является ограничительным для многих технологических применений. ОАГ HPQ3 позволяет работать до 0,001 Торр без необходимости дифференциальной накачки. Проверенная на практике технология анализатора HPQ в сочетании с новейшей инновационной электронной платформой, построенной из серии Microvision 2, обеспечивают качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. Полученная в результате система является менее сложной, с уменьшенными требованиями к установке, предлагая более высокий уровень надежности при существенно более низкой стоимости.
Верхний рабочий предел полного давления 0,001 Торр
Поиск течей в вакуумных линиях, трубопроводах охлаждающей жидкости, уплотнениях и сварочных швах
Мониторинг загрязнений в каме