| Параметр | Значение | Источник |
|---|
| Фланец (вход) | DN 160 | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 40 | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1063 x 465 x 1069 | blms_full |
| Вес, кг | 668 | blms_full |
| Производительность, м³/ч | 1365 – 1640 | blms_full |
| Мощность, кВт | 5,6 | blms_full |
| Частота вращения, об/мин | 3000 | blms_full |
| Предельное давление, мбар | 0,003 | blms_full |
| Температура окр. среды, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 5 | blms_full |
| Расход азота, л/мин | 75 | blms_full |
| Уровень шума, дБ | < 68 | blms_full |
| Air at 20 °C. Tolerance | ± 10% | pdf |
| Наименование | COBRA DS 0700–2000 G | pdf_vision |
| Тип | Сухие винтовые вакуумные насосы | pdf_vision |
| Производитель | Busch Vacuum Solutions | pdf_vision |
| Номинальная скорость откачки COBRA DS 0700 G | 500 m³/h | pdf_vision |
| Номинальная скорость откачки COBRA DS 1000 G | 775 m³/h | pdf_vision |
| Номинальная скорость откачки COBRA DS 2000 G | 1365 m³/h | pdf_vision |
| Предельное давление | 0.003 hPa (mbar) | pdf_vision |
| Номинальная мощность двигателя fore-вакуумного насоса | 4.0 kW / 4.0 kW / 5.5 kW | pdf_vision |
| Номинальная мощность двигателя бустера | 4.0 kW / 4.0 kW / 5.5 kW | pdf_vision |
| Потребляемая мощность при предельном давлении | 3.0 kW / 3.3 kW / 5.6 kW | pdf_vision |
| Потребляемая мощность в режиме холостого хода | 3.0 kW / 3.3 kW / 5.6 kW | pdf_vision |
| Номинальная частота вращения fore-вакуумного насоса | 3000 min⁻¹ | pdf_vision |
| Номинальная частота вращения бустера | 3000 min⁻¹ | pdf_vision |
| Уровень звукового давления (ISO 2151), KpA = 3 dB | < 62 dB(A) / < 62 dB(A) / < 68 dB(A) | pdf_vision |
| Расход воды | 5.0 l/min | pdf_vision |
| Скорость откачки | Воздух при 20 °C, допуск ± 10% | pdf_vision |
| Технические значения | относятся к ISO 50 Hz | pdf_vision |
| Продукт | COBRA DS 0700–2000 G | pdf_vision |
| Тип | Dry screw vacuum pumps | pdf_vision |
| Производитель | Busch Vacuum Solutions | pdf_vision |
| Расход азота (0700/1000/2000) | 0 – 75 l/min | pdf_vision |
| Вес прибл. (0700) | 445 kg | pdf_vision |
| Вес прибл. (1000) | 576 kg | pdf_vision |
| Вес прибл. (2000) | 668 kg | pdf_vision |
| Габариты 0700 (Д х Ш х В) | 865 x 385 x 917 mm | pdf_vision |
| Габариты 1000 (Д х Ш х В) | 1034 x 425 x 1017 mm | pdf_vision |
| Габариты 2000 (Д х Ш х В) | 1063 x 465 x 1069 mm | pdf_vision |
| Газовый вход (0700) | DN 63 | pdf_vision |
| Газовый вход (1000) | DN 100 | pdf_vision |
| Газовый вход (2000) | DN 160 | pdf_vision |
| Газовый выход (все) | DN 40 | pdf_vision |
| Технические значения | refer to ISO 60 Hz | pdf_vision |
| Номинальная скорость откачки (0700) | 610 m3/h | pdf_vision |
| Номинальная скорость откачки (1000) | 960 m3/h | pdf_vision |
| Номинальная скорость откачки (2000) | 1540 m3/h | pdf_vision |
| Предельное давление (0700) | 0.003 hPa (mbar) | pdf_vision |
| Предельное давление (1000) | 0.003 hPa (mbar) | pdf_vision |
| Предельное давление (2000) | 0.003 hPa (mbar) | pdf_vision |
| Номин. мощность двигателя бустера backing pump (0700) | 4.4 kW | pdf_vision |
| Номин. мощность двигателя backing pump (1000) | 4.4 kW | pdf_vision |
| Номин. мощность двигателя backing pump (2000) | 6.6 kW | pdf_vision |
| Номин. мощность двигателя vacuum booster (0700) | 4.4 kW | pdf_vision |
| Номин. мощность двигателя vacuum booster (1000) | 4.4 kW | pdf_vision |
| Номин. мощность двигателя vacuum booster (2000) | 6.6 kW | pdf_vision |
| Потребление при предельном давлении (0700) | 3.6 kW | pdf_vision |
| Потребление при предельном давлении (1000) | 4.0 kW | pdf_vision |
| Потребление при предельном давлении (2000) | 6.8 kW | pdf_vision |
| Потребление в режиме холостого хода (0700) | 3.6 kW | pdf_vision |
| Потребление в режиме холостого хода (1000) | 4.0 kW | pdf_vision |
| Потребление в режиме холостого хода (2000) | 6.8 kW | pdf_vision |
| Номин. скорость вращения backing pump (все) | 3600 min-1 | pdf_vision |
| Номин. скорость вращения vacuum booster (все) | 3600 min-1 | pdf_vision |
| Уровень звукового давления (ISO 2151, KpA = 3 dB) (0700) | < 62 dB(A) | pdf_vision |
| Уровень звукового давления (1000) | < 62 dB(A) | pdf_vision |
| Уровень звукового давления (2000) | < 68 dB(A) | pdf_vision |
| Потребление воды (все) | 5.0 l/min | pdf_vision |
| Контакт | sales.de@buschvacuum.com или +49 (0)6441 802-1222 | pdf_vision |
| Веб-сайт | www.buschvacuum.com | pdf_vision |
| Дата документа | 14.10.2025 | pdf_vision |
• Новое поколение сухих вакуумных насосов, разработанных для сложных полупроводниковых процессов
• Усовершенствованная конструкция винта
• Работа в сухом и бесконтактном режиме
• Отличная работа с порошкообразными материалами
• Эффективное непрямое водяное охлаждение
• Компактная конструкция, готовая к установке
• Высокая скорость откачки водорода
• Высокоэффективный двигатель
• Доступны модели со встроенным вакуумным усилителем
Преимущества серии COBRA DS
Сухие винтовые вакуумные насосы Pfeiffer Vacuum COBRA DS являются идеальными генераторами вакуума для сложных полупроводниковых применений, особенно там, где требуется высокая производительность по водороду. Поэтому они идеально подходят для химического осаждения из газовой фазы, быстрой термообработки и атомно-слоевого осаждения.
В линейке представлены модели, оборудованные мощным вакуумным усилителем. Такое решение позволяет значител
Источник: https://blms.ru/catalog/vakuumnoe-oborudovanie/vakuumnye-nasosy/vintovye-vakuumnye-nasosy/vintovye-nasosy-pfeiffer-vacuum/pfeiffer-vacuum-cobra-ds-2000-g/