Система обнаружения фоторезиста MKS Instruments 300 mm Resist-Torr
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (28)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-200 | blms_full |
| Нижний предел обнаружения | < 100 ppb | blms_full |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | |
| Mass Range | 1-200 amu | pdf_vision |
| Detector System | Dual (Faraday and Secondary Electron Multiplier) | pdf_vision |
| Minimum Detectable Concentration | 10 ppb for all common gases except <2ppm for H2 | pdf_vision |
| Maximum Operating Pressure | Better than 5×10⁻⁴ mbar at ambient temperature | pdf_vision |
| Resolution | Better than 10% valley between peaks of equal height throughout the mass range | pdf_vision |
| Ion Source | High sensitivity, closed ion source | pdf_vision |
| Filaments | Replaceable twin Thorium filaments | pdf_vision |
| Analyzer Housing Base Pressure | Better than 5×10⁻¹¹ Torr after bakeout | pdf_vision |
| Mass Filter | Double filter (1" RF only) pre-filter with 4" main filter | pdf_vision |
| Mounting Flange | 2.75" ConFlat® flange, SS capillary | pdf_vision |
| Bakeout Temperature & Bakeout Jacket | Included for 200°C bakeout | pdf_vision |
| Foreline Pump | Dry diaphragm standard | pdf_vision |
| Calibration Hardware | Reference gas standard for automated calibration | pdf_vision |
| Control Unit/PC Weight | 1.7 kg | pdf_vision |
| Power | 88-264 VAC, 47/63 Hz, 600 Watts | pdf_vision |
| Maximum Operating Conditions | Electronics: 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | pdf_vision |
| LED Status Indication | Integrator status, filament emission, SEM, power and communications | pdf_vision |
| Other Facilities | Standard I/O ports; Fast serial; External filament trip socket; Instrument reset | pdf_vision |
| Communications | Ethernet CAT-5e | pdf_vision |
| Compliance | CE | pdf_vision |
| Facilities Power | 88-264 VAC, 47/63 Hz, 600 Watts | pdf_vision |
| Pneumatics | 80-90 psig CDA | pdf_vision |
| Weight at Tool | Approx. 24 lbs (11.0 Kg) to bolt-on process system (support stand or bracket required) | pdf_vision |
| Shipping Weight | Approx. 85 lbs (38.5 Kg); can vary depending upon configuration | pdf_vision |
Документы
300 mm Resist-Torr состоит из оптимальной комбинации квадрупольного масс-спектрометра с закрытым ионным источником и быстрым капиллярным входом, а также передовых запатентованных алгоритмов, разработанных специально для камер дегазации на ведущих в отрасли 300-мм кластерных инструментах PVD. При использовании с мощными функциями программного обеспечения управления датчиками Process Eye и TOOLweb АОГ, результатом является полностью автоматизированная работа и высоконадежное обнаружение фоторезиста. Внеплановые простои сокращаются, а производительность устройств повышается.
Обнаружение загрязнения фоторезиста при дегазации под высоким давлением (~8 Торр)
Полностью автоматизированный контроль технологического процесса означает отсутствие необходимости в операторе
Расчет индекса PR - показатель уровня загрязнения фоторезиста
Встроенный калибровочный стандарт с автоматическим режимом калибров