Винтовой насос Pfeiffer Vacuum COBRA DS 3161 C
Бренд: Pfeiffer PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (28)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN 160 | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 63 | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1316 x 633 x 1249 | blms_full |
| Вес, кг | 1375 | blms_full |
| Производительность, м³/ч | 3200 | blms_full |
| Мощность, кВт | 11,8 | blms_full |
| Частота вращения, об/мин | 3000 | blms_full |
| Предельное давление, мбар | 0,001 | blms_full |
| Температура окр. среды, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 10 | blms_full |
| Расход азота, л/мин | 200 | blms_full |
| Уровень шума, дБ | < 75 | blms_full |
| Air at 20 °C. Tolerance | ± 10% | |
| Номинальная скорость откачки | 3200 m³/h | pdf_vision |
| Предельное давление | 0.001 hPa (mbar) | pdf_vision |
| Номинальная мощность двигателя (форвакуумный насос) | 15 kW | pdf_vision |
| Номинальная мощность двигателя (вакуумный бустер) | 15 kW | pdf_vision |
| Потребляемая мощность при предельном давлении | 11.8 kW | pdf_vision |
| Потребляемая мощность в режиме холостого хода | 9.9 kW | pdf_vision |
| Номинальная частота вращения (форвакуумный насос) | 3600 min⁻¹ | pdf_vision |
| Номинальная частота вращения (вакуумный бустер) | 5400 min⁻¹ | pdf_vision |
| Уровень звукового давления (ISO 2151), KpA = 3 dB | < 75 dB(A) | pdf_vision |
| Расход воды | 10 l/min | pdf_vision |
| Расход азота | 0 – 200 l/min | pdf_vision |
| Вес (примерно) | 1500 kg / 1375 kg | pdf_vision |
| Габариты (Д x Ш x В) | 1420 x 722 x 1452 mm / 1316 x 633 x 1249 mm | pdf_vision |
| Вход газа | DN 150 | pdf_vision |
| Выход газа | DN 63 | pdf_vision |
Графики / чертежи
dimension_drawing
Технический datasheet Busch COBRA DS 3010/3161 C/G: габаритный чертёж сухого винтового вакуумного насоса и таблица технических характеристик (скорость откачки, предельное давление, мощность и др.)
Документы
📄 Product_Leaflet_COBRA_DS_0080_0160_G_Global_DE.pdf 📄 Product_Leaflet_COBRA_DS_0080_0160_G_Global_EN.pdf 📄 Instruction_Manual_Busch_Monitoring_System_2.0_EN_en.pdf 📄 Instruction_Manual_Busch_PLC_2.0_and_Busch_LCD_EN_en.pdf
• Новое поколение сухих вакуумных насосов, разработанных для сложных полупроводниковых процессов
• Усовершенствованная конструкция винта
• Работа в сухом и бесконтактном режиме
• Отличная работа с порошкообразными материалами
• Эффективное непрямое водяное охлаждение
• Компактная конструкция, готовая к установке
• Высокая скорость откачки водорода
• Высокоэффективный двигатель
• Доступны модели со встроенным вакуумным усилителем
Преимущества серии COBRA DS
Сухие винтовые вакуумные насосы Pfeiffer Vacuum COBRA DS являются идеальными генераторами вакуума для сложных полупроводниковых применений, особенно там, где требуется высокая производительность по водороду. Поэтому они идеально подходят для химического осаждения из газовой фазы, быстрой термообработки и атомно-слоевого осаждения.
В линейке представлены модели, оборудованные мощным вакуумным усилителем. Такое решение позволяет значител