Вакуумметр MKS Instruments 390 Micro-Ion
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (23)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 10 – 40 | blms_full |
| Соединительный фланец | NW25 ISO-KF | blms_full |
| Макс. температура отжига, °C | 105 | blms_full |
| Дисплей | Опционально | blms_full |
| Диапазон измерений, Torr | 10⁻⁹ – 760 | blms_full |
| Интерфейс | RS485; EtherCAT | blms_full |
| Torr • 1 x 10-8 to 100 mTorr | ±15% of Reading; 100 mTorr to 150 Torr: ±10% of Reading; | |
| mbar • 1.33 x 10-8 to 0.133 mbar | ±15% of Reading; 0.133 to 200 mbar: ±10% of Reading; | |
| Pascal • 1.33 x 10-6 to 13.3 Pa | ±15% of Reading; 13.3 to 2.00 x 104 Pa: ±10% of Reading; | |
| Torr • 1 x 10-8 to 100 mTorr | ±5% of Reading; 100 mTorr to 150 Torr: ±2.5% of Reading; | |
| mbar • 1.33 x 10-8 to 0.133 mbar | ±5% of Reading; 0.133 to 200 mbar: ±2.5% of Reading; | |
| Pascal • 1.33 x 10-6 to 13.3 Pa | ±5% of Reading; 13.3 to 2.00 x 104 Pa: ±2.5% of Reading; | |
| Ionization Gauge On • 2 x 10-2 Torr | 2.66 x 10-2 mbar; 2.66 Pa, with decreasing pressure | |
| Switch to High Emission • 5 x 10-6 Torr | 6.66 x 10-6 mbar; 6.66 x 10-4 Pa, with decreasing pressure | |
| Switch to Low Emission • 1 x 10-5 Torr | 1.33 x 10-5 mbar; 1.33 x 10-3 Pa, with increasing pressure | |
| RS-485/Analog DIM B | 6.2 cm, (2.4 in) | |
| DeviceNet™/EtherCAT® DIM B | 7.9 cm, (3.1 in) | |
| Дополнительный дисплей | Графический ЖКД | pdf_vision |
| Вес | 728,5 г (25,7 унции) с муфтой ConFlat® | pdf_vision |
| Материал корпуса | Алюминиевая экструзия с порошковым покрытием | pdf_vision |
| Соответствие | CE, ETG 5003.1, ETG 5003.2, ETG 5003.2080 | pdf_vision |
| Габариты RS-485/Analog | В х 6,2 см (2,4 дюйма) | pdf_vision |
| Габариты DeviceNet/EtherCAT | В х 7,9 см (3,1 дюйма) | pdf_vision |
Документы
Микро-ионный модуль Granville-Phillips 390 сочетает в себе проверенную технологию микро-ионного ионизационного датчика с миниатюрным датчиком теплопотери Conductron и двумя Пьезорезистивными датчиками для обеспечения точного непрерывного измерения давления от высокого вакуума до атмосферы. Используя свои мембранные датчики, этот продукт способен обеспечивать точное абсолютное давление до атмосферного наряду с точной индикацией перепада давления в вакуумной камере от окружающей среды.
Непрерывное измерение давления от 10
торр до атмосферного
Прецизионное измерение перепада давления в атмосфере
Двойные нити датчика ионизации увеличивают время безотказной работы оборудования
Дополнительные реле уставки для управления процессом
Аналоговый, RS-485 или DeviceNet выход
Опционально ЖК-дисплей
Рабочая температура, °C
10 – 40
Соединительный фланец
NW25 ISO-KF
Макс. температура отжига, °C
105
Диспл