Масс-спектрометры Pfeiffer Vacuum SPM
Бренд: Pfeiffer PDF частично фото с blms.ru
Характеристики (6)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Advantages at a glance | ■■ Provides great flexibility thanks to its 5 manually or | |
| Open ion source, filament | yttriated iridium 1 | |
| Open ion source, filament | tungsten 2 | |
| SPM ion source, filament | yttriated iridium 3 | |
| SPM ion source, filament | tungsten 4 | |
| Please contact us | T +49 6441 802-0 |
Документы
Благодаря устройству контроля напыления SPM 220, компания Pfeiffer Vacuum предлагает идеальное решение для качественного и количественного анализа газов в процессах напыления. Комбинация турбонасосной станции HiPace с масс-спектрометром с источником ионов SPM с дифференциальной перекачкой делает его идеальным для применения в диапазоне давлений до 10 гПа.
На рисунке показан схематический вид анализатора в сборе, соединенного с технологической камерой. Короткая широкая трубка образует соединение с технологической зоной. Источник ионов постоянно открыт в технологическую камеру, но не проходит внутрь нее.
Благодаря особой конструкции SPM 220 в ионизационной камере источника ионов поддерживается рабочее давление, а для нитей накаливания и остальной части масс-спектрометра поддерживается высокое разрежение. Источник ионов снабжен штуцерами для инжекции электронов и отвода ионов.
Это позволяет