Система влажной утилизации с дожигом Pfeiffer Vacuum CT-BW
Бренд: Pfeiffer PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (23)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Давление азота | от 7 до 10 бар | blms_full |
| Давление топливного газа (CH₄, H₂, C₃H₈) | от 0,25 до 1,25 бар | blms_full |
| Давление кислорода | от 4 до 5 бар | blms_full |
| Давление сорбента (NaOH/KOH) | < 1 бар | blms_full |
| Давление пресной воды | от 3 до 7 бар | blms_full |
| Давление сточных вод | от 0 до 2 бар | blms_full |
| Давление охлаждающей жидкости на входе | от 4 до 6 бар | blms_full |
| Давление охлаждающей жидкости на выходе | от 0 до 4 бар | blms_full |
| Давление отходящего газа на входе | от –0,5 до 130 мбар | blms_full |
| Давление очищенного газа на выходе | от –7,5 до –10 мбар | blms_full |
| Модель | CT-BW | pdf_vision |
| Тип | Burn-wet system | pdf_vision |
| Cabinwetexhaust_давление | -0.6 … -2.5 mbar | pdf_vision |
| Cabinwetexhaust_подключение | DN100 фланец | pdf_vision |
| Cabinwetexhaust_примечание | connected to GEX | pdf_vision |
| Вес_прибл | 600 kg | pdf_vision |
| Интерфейс | dry contacts | pdf_vision |
| Габариты (Ш×Г×В) | 1300 x 800 x 1950 mm | pdf_vision |
| Производитель | Busch Vacuum Solutions | pdf_vision |
| Дата | 19.11.2025 | pdf_vision |
| Страница | 3/3 | pdf_vision |
| Контакт | sales.de@pfeiffer-vacuum.com / +49 (0)6441 802-1222 | pdf_vision |
| Сайт | www.buschvacuum.com | pdf_vision |
Графики / чертежи
dimension_drawing
Технический паспорт системы CT-BW (Burn-wet) от Busch Vacuum Solutions: габаритный чертёж установки и таблица технических характеристик (давление, подключения, примечания по средам).
Документы
Серия CT-BW использует свои высокоэффективные решения в полупроводниковом производстве и областях промышленности со схожими процессами. Так как в новейших технологиях побочными продуктами являются высококоррозионные газы, а новое оборудование использует повышенную газовую нагрузку, более совершенные технологии утилизации представлены компанией CT clean solutions.
Серия CT-BW отвечает этим новым требованиям. Помимо возможностей FLM серии, таких, как высокая эффективность очистки от фтороуглеродов и других газов, надежная утилизация всех побочных продуктов процессов осаждения и травления, возможность выбора различных газов в качестве топлива и соответствие международным требованиям, новая система разработана быть коррозиеустойчивой и способной переработать большое количество твердых продуктов реакции.
Прямой дизайн входной и выходной трубы в купе с возможностью управления по температуре, а