Регулятор массового расхода MKS Instruments GV50A
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (37)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Вес, кг | 1,4 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 50 | blms_full |
| Диапазон регулирования (полной шкалы) | от 2% до 100 | blms_full |
| Диапазон расхода, sccm | 5–50 000 | blms_full |
| Материал уплотнения | 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy, Nickel; Kel-F | blms_full |
| Макс. давление на входе | 150 psig | blms_full |
| Перепад рабочего давления | 5 - 5 000 sccm | blms_full |
| Рабочее давление | 1000 psig | blms_full |
| Давление разрыва | 1500 psig | blms_full |
| Время реагирования | <750 мс | blms_full |
| Время прогрева, мин. | 30 | blms_full |
| Data Rate 4 positions | 125, | |
| Kbps | 500 Kbps 38.4 Kbps | |
| Полная шкала (N2 эквивалент) | 5–50000 sccm | pdf_vision |
| Максимальное входное давление | 150 psig (может не превышать требуемый перепад давления через MFC) | pdf_vision |
| Proof pressure | 1000 psig | pdf_vision |
| Разрывное давление (Burst Pressure) | 1500 psig | pdf_vision |
| Диапазон управления | 2% to 100% of Full Scale | pdf_vision |
| Типичная точность (с N2 калибровочным газом) | +/-1% of point for 30 to 100% Full Scale; +/-0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale | pdf_vision |
| Повторяемость | ±0.3% of Reading | pdf_vision |
| Разрешение | 0.1% of Full Scale | pdf_vision |
| Температурные коэффициенты | Zero: ±0.05% of Full Scale/°C; Span: ±0.05% of Reading/°C | pdf_vision |
| Коэффициент входного давления | <0.02% of Reading/psi | pdf_vision |
| Типичное время установления (усл. MIL-STD-1670-2 Method 209D | <750 msec, typical above 5% Full Scale | pdf_vision |
| Тепловая стабильность (<1% FS за 30 мин) | 30 minutes | pdf_vision |
| Рабочая температура (окружающая) | 10 °C to 50 °C | pdf_vision |
| Влажность | 0 to 95% relative humidity, non-condensing | pdf_vision |
| Температура хранения | -20° to 80°C (-4° to 149° F) | pdf_vision |
| Герметичность внешняя (scc/sec He) | <1 x 10^-9 | pdf_vision |
| Герметичность через отсечной клапан | <1e-9 (если требуется нулевой расход, необходим отдельный отсечной клапан) <4 x 10^-9 | pdf_vision |
| Уплотнения и седло клапана | Viton, Buna-N, EPDM, Kalrez or Neoprene | pdf_vision |
| Давление пневматического питания | 60 – 120 psig | pdf_vision |
| Чистота поверхности | 16μ in. pitch average Ra | pdf_vision |
| Вес | <3 lbs (1.4kg) | pdf_vision |
| Требуемое питание | +15 to +24 VDC @ (<3 watts) | pdf_vision |
| Сигнал расхода вход/выход (напряжение 0–5 В, ток 4–20 мА) | 15 pin Type "D" male, 9 pin Type "D" male; 15 pin Type "D" male | pdf_vision |
| Соответствие | CE | pdf_vision |
Документы
Контроллер GV50A с цифровым управлением доступен с портами ввода/вывода RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET или DeviceNet. Электроника с цифровым управлением использует новейшие алгоритмы управления MKS для быстрого и воспроизводимого отклика на заданное значение во всем диапазоне управления устройством. Стандартное время отклика составляет порядка 600–800 миллисекунд. Все GE50A включают Modbus в качестве доступного вторичного ввода-вывода (за исключением PROFINET и EtherCAT). Цифровая калибровка обеспечивает точность калибровочного газа в 1% от заданного значения.
Расход от 5 до 50 000 sccm
Варианты уплотнительной заглушки и клапана из Витона, Буна, Неопрена или Калреза
Широкий выбор цифровых (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET и RS485) или аналоговых (0–5 В или 4–20 мА) входов/выходов
Скорость утечки запорного клапана менее 4x10E-09 atm-cc/sec He
Время реагирования менее 750 милли