Многоступенчатый вакуумный насос Pfeiffer Vacuum A 100 L
Бренд: Pfeiffer ✓ обогащена PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (54)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN 50 KF | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 25 KF | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 600 x 280 x 300 | blms_full |
| Вес, кг | 100 | blms_full |
| Производительность, м³/ч | 100 | blms_full |
| Мощность, кВт | 1,6 | blms_full |
| Предельное давление, мбар | 0,012 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 1,6 | blms_full |
| Напряжение питания (3~) | 200-208 В; 380-400 В | blms_full |
| Уровень шума, дБ | 58 | blms_full |
| Please contact us | T +49 6441 802-0 | |
| Модель насоса | A 100 L / A 100 L ES | pdf_vision |
| Скорость откачки | 100 m³/h | pdf_vision |
| Скорость откачки (59 cfm) | 59 cfm | pdf_vision |
| Частота вращения | 1.667 l/min | pdf_vision |
| Типичное предельное давление A 100 L | 6.8 · 10⁻³ hPa | pdf_vision |
| Типичное предельное давление A 100 L ES | 7 · 10⁻³ hPa | pdf_vision |
| Типичное предельное давление (Torr) A 100 L | 5 · 10⁻³ Torr | pdf_vision |
| Типичное предельное давление (Torr) A 100 L ES | 5 · 10⁻³ Torr | pdf_vision |
| Типичное предельное давление (mbar) A 100 L | 6.8 · 10⁻³ mbar | pdf_vision |
| Типичное предельное давление (mbar) A 100 L ES | 7 · 10⁻³ mbar | pdf_vision |
| Напряжение питания, 3 фазы, 50/60 Гц | 200–230 В / 380–400 В | pdf_vision |
| Напряжение питания A 100 L ES | 200–208 В | pdf_vision |
| Потребляемая мощность, предельное давление A 100 L | 1.6 кВт | pdf_vision |
| Потребляемая мощность, предельное давление A 100 L ES | < 0.8 кВт | pdf_vision |
| Потребляемая мощность, режим 'idle' A 100 L | 0.5–1.2 кВт | pdf_vision |
| Потребляемая мощность, режим 'idle' A 100 L ES | 0.2–0.5 кВт | pdf_vision |
| Макс. уровень шума на полной скорости | 58 дБ (A) / 55 дБ (A) | pdf_vision |
| Макс. объем воды | 1 m³ | pdf_vision |
| Период цикла, макс. при 25 литрах | 40 с | pdf_vision |
| Непрерывный поток вх. воды, макс. | 20 Sl/m | pdf_vision |
| Типичное вибрационное ускорение (впуск 10–1000 Гц) | 0.1 m/s² | pdf_vision |
| Типичное вибрационное смещение (впуск 10–1000 Гц) | 1.5 μm | pdf_vision |
| Типичное вибрационное ускорение (выпуск 10–1000 Гц) | 0.1 m/s² | pdf_vision |
| Типичное вибрационное смещение (выпуск 10–1000 Гц) | 0.3 μm | pdf_vision |
| Подключение охлаждающей воды | ¼ NPT Quick Connect | pdf_vision |
| Охлаждающая вода, мин. расход | 1.8 l/min / 0.44 gpm | pdf_vision |
| Подключение сжатого воздуха (CDA) | ⅛" Swagelok | pdf_vision |
| Мин. давление подачи сжатого воздуха | 45 psig | pdf_vision |
| Расход сжатого воздуха (CDA)* | 30 Sl/m | pdf_vision |
| Вес | 100 kg | pdf_vision |
| Фланец (впуск) | DN 50 ISO-KF | pdf_vision |
| Фланец (выпуск) | DN 25 ISO-KF | pdf_vision |
| Инструментальный интерфейс | SPI 16 или 19 pins I/O | pdf_vision |
| Интерфейс RS-232/RS-485 | Опция | pdf_vision |
| Номер заказа A100L5124 | 16 pins I/O, без RS-232/RS-485 | pdf_vision |
| Номер заказа A100L5134 | 19 pins I/O, без RS-232/RS-485 | pdf_vision |
| Номер заказа A100L5142A | 16 pins I/O, с RS-232/RS-485 | pdf_vision |
| Номер заказа A100L5143A | 19 pins I/O, с RS-232/RS-485 | pdf_vision |
| Предельное давление, гПа | 6.8·10⁻³ hPa (A 100 L) | producer |
| Тип насоса | многоступенчатый корневой (Roots), сухой безмасляный | producer |
| Диапазон номинальной скорости откачки серии A100L/A200L | 100–200 м³/ч | producer |
| Соответствие стандартам | CE, UL/CSA, SEMI S2 | producer |
| Ориентация впуска | горизонтальный или вертикальный | producer |
Документы
Высокая производительность
Надежный и энергоэффективный
Низкий уровень вибрации и шума
Система Plug and Play: встроенный мониторинг
Дополнительный интерфейс RS-232 / RS-485
Особенности:
• возможность прямого интегрирования в оборудование
нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение
• компактность + быстрота действия - 100 м3/ч
замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м3/ч
• низкий уровень шума
конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях
• энергоэффективность
снижение затрат производства
• высокая надежность
Области применения:
шлюзы, загрузочные камеры
передаточные камеры
PVD
SEM
камеры предварительной обработки/очистки
камеры отжига
Фланец (вход)
DN 50 KF
Фланец (выход)
DN 25 KF
Габариты (ДxШxВ), мм
600 x 280 x 300
Обогащение: данные производителя
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Предельное давление, гПа | 6.8·10⁻³ hPa (A 100 L) | производ. |
| Тип насоса | многоступенчатый корневой (Roots), сухой безмасляный | производ. |
| Диапазон номинальной скорости откачки серии A100L/A200L | 100–200 м³/ч | производ. |
| Соответствие стандартам | CE, UL/CSA, SEMI S2 | производ. |
| Ориентация впуска | горизонтальный или вертикальный | производ. |
Жизненный цикл: active
Факты производителя: Подтверждён принцип работы: сухая безмасляная откачка без контакта роторов, серии до 10⁻⁴ гПа. A 100 L предназначен для чистых применений (полупроводники, напыление, load lock камеры), имеет компактный дизайн, горизонтальный/вертикальный вход, быстрое откачивание камер. Соответствует CE, UL/CSA, SEMI S2.