Вакуумметр MKS Instruments 910 MicroPirani/Piezo
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (67)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Соединительный фланец | NW16 ISO-KF; NW25 ISO-KF | blms_full |
| Макс. температура отжига, °C | 85 | blms_full |
| Тип сенсора | MicroPirani / Piezo | blms_full |
| Нить накала | Вольфрам | blms_full |
| Дисплей | Опционально | blms_full |
| Диапазон измерений, Torr | 1500 – 10⁻⁵ | blms_full |
| Макс. давление, Torr | 2 250 | blms_full |
| Интерфейс | RS485; RS232 | blms_full |
| Тип | Абсолютный датчик давления (Piezo) | pdf_vision |
| Принцип | Прямое измерение давления, независимо от типа газа | pdf_vision |
| Диапазон измерения | менее 1 Торр до 1500 Торр | pdf_vision |
| Цифровой интерфейс | RS232 или RS485 | pdf_vision |
| Аналоговый выход | 1 В DC на декаду | pdf_vision |
| Механические реле | до 3, для управления процессами (блокировка клапанов, вакуумные насосы) | pdf_vision |
| Set point | микроPiezo/совмещённое абсолютное или Piezo измерение | pdf_vision |
| Фланец NW 16 KF | A = 1.98 in (49.1) | pdf_vision |
| Фланец NW 25 KF | A = 2.00 in (50.9) | pdf_vision |
| Фланец 1/8" NPT-M | A = 3.50 in (89.0) | pdf_vision |
| Фланец 8 VCR | A = 3.24 in (82.4) | pdf_vision |
| Фланец 4 VCR | A = 3.20 in (81.4) | pdf_vision |
| Фланец NW 16 KF ext. | A = 2.58 in (65.6) | pdf_vision |
| Примечание к размерам | размеры в дюймах (мм) — номинальные значения | pdf_vision |
| Pinout | 3 set-point реле и двойной Aout | pdf_vision |
| PIN1 | RS-485 (+)/RS232 transmit | pdf_vision |
| PIN2 | RS-485 (-)/RS232 receive | pdf_vision |
| PIN3 | Ground | pdf_vision |
| PIN4 | Power (+) | pdf_vision |
| PIN5 | Analog Output (+) alt. Address Jumper (+) | pdf_vision |
| PIN6 | Relay #1 NC | pdf_vision |
| PIN7 | Relay #1 NO | pdf_vision |
| PIN8 | Relay #1 Common | pdf_vision |
| PIN9 | Relay #1 NC | pdf_vision |
| PIN10 | Relay #2 NC | pdf_vision |
| PIN11 | Relay #2 Common | pdf_vision |
| PIN12 | Relay #2 NO | pdf_vision |
| PIN13 | Relay #3 NC (or Address Jumper (-)) | pdf_vision |
| PIN14 | Relay #3 Common | pdf_vision |
| PIN15 | Relay #3 NO | pdf_vision |
| Sensor Type 1 | MicroPirani™ (MEMS Thermal Conductivity) | pdf_vision |
| Sensor Type 2 | Piezo absolute (MEMS diaphragm) | pdf_vision |
| Measuring Range Absolute | 1.0 x 10⁻³ Torr to 1500 Torr | pdf_vision |
| Set Point Range Absolute | 5.0 x 10⁻³ Torr to 1500 Torr | pdf_vision |
| Calibration Gas | Air, Argon, Helium, Nitrogen, H₂, H₂O vapor, CO₂, Xenon, Neon | pdf_vision |
| Gas Independence | ±15% of direct N₂ reading, 1 to 11 Torr | pdf_vision |
| Operating Temperature Range | 0 to +50°C (32 to 122°F) | pdf_vision |
| Maximum Bakeout Temperature | 85°C (185°F), non-operating | pdf_vision |
| Digital Communication Protocol | RS485/RS232 (4800 to 230,000 Baud) | pdf_vision |
| Analog Output | 1 to 9.2 VDC, 1 V/ decade, 1000Ω maximum output impedance | pdf_vision |
| Analog Output Resolution | 16 bit | pdf_vision |
| Relays | Optional, 910 · 3 relays SPDT | pdf_vision |
| Relay Contact Rating | 1 A @ 30VAC/DC, resistive | pdf_vision |
| Relay Response | 100 msec maximum | pdf_vision |
| Power Requirements | 9 to 30 VDC, < 1.2 watts max | pdf_vision |
| Accuracy (5 x 10⁻³ to 11 x 10⁻² Torr) | +3% of Reading | pdf_vision |
| Accuracy (11 x 10⁻² Torr to 11 Torr) | +2% of Reading | pdf_vision |
| Accuracy (11 to 1000 Torr) | +7.5% of Reading | pdf_vision |
| Repeatability (5 x 10⁻³ to 11 Torr) | ±3% of Reading | pdf_vision |
| Repeatability (10⁻² Torr to 11 Torr) | ±2% of Reading | pdf_vision |
| Repeatability (11 to 1000 Torr) | ±0.2% of Reading | pdf_vision |
| Overpressure Limit | 2250 Torr (absolute) | pdf_vision |
| Installation Orientation | Any | pdf_vision |
| Internal Volume (KF16) | 2.8 cm³ | pdf_vision |
| Materials Exposed to Vacuum | Silicon, SiO₂, Si₃N₄, gold, low outgassing epoxy resin, 304 stainless steel, Vitor® | pdf_vision |
| Electronic Casing and Flange | 304 stainless steel | pdf_vision |
| Weight with KF16 Flange | 170 g | pdf_vision |
| Compliance | CE | pdf_vision |
Графики / чертежи
dimension_drawing
Техническая страница описания пьезодатчика давления 910: чертёж габаритных размеров с таблицей фланцев (NW16, NW25, KF, VCR и др.), график стандартного аналогового выхода, распиновка разъёма DB15 и текст описания
Документы
Разработанный специально для измерений давления в широком диапазоне, датчик 910 сочетает в себе технологии Piezo и Micro Pirani. Комбинированный выход обеспечивает значительно более высокую точность, стабильность, воспроизводимость и более быстрое время отклика, чем обычные датчики.
Измерение абсолютного давления от 1500 до 10-5 Торр
2 датчика в одном преобразователе для широкого диапазона измерений
Газонезависимое измерение абсолютного давления от 11 до 1500 Торр
Быстрые, точные и воспроизводимые измерения давления сокращают время технологического цикла
Опционально 3 уставки с быстрым временем отклика для надежного управления процессом
Опционально встроенный дисплей для индикации давления и т. д.
Рабочая температура, °C
0 – 40
Соединительный фланец
NW16 ISO-KF; NW25 ISO-KF
Макс. температура отжига, °C
Тип сенсора
MicroPirani / Piezo
Нить накала
Вольфрам
Дисплей
Опционально
Диапазон изме