Анализатор остаточных газов MKS Instruments Vision 2000-P
Бренд: MKS ✓ обогащена PDF интересно: producer не найден
Характеристики (34)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Макс. рабочее давление, мбар | 0,01 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-100; 1-200; 1-300 | blms_full |
| Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея | 2,7 · 10⁻¹¹ гПа | blms_full |
| Соединительный фланец | DN 35 CF | blms_full |
| Нижний предел обнаружения | <100 ppb | blms_full |
| Mass Range Options 1-100 amu standard | 1-200 and 1-300 amu optional | |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | |
| Mass Range Options | 1-100 amu standard, 1-200 and 1-300 amu optional | pdf_vision |
| Ion Source | High conductance closed ion source | pdf_vision |
| Filaments | Replaceable twin Tungsten or Thoria filaments | pdf_vision |
| Mass Filter | Double filter (1" RF only) pre-filter with 4 main filter | pdf_vision |
| Detector System | Dual (Faraday and secondary electron multiplier) | pdf_vision |
| Maximum Analyzer Operating Pressure | 7.6e-3 Torr (5e-2 mbar) at the ion source inlet (standard), higher pressure optional | pdf_vision |
| Minimum Detectable Partial Pressure | <2e-11 Torr (for total pressures <1 x 6 e-4 Torr on inlet) | pdf_vision |
| Minimum Detectable Concentration (trace gas detection limit) | <100ppb for all common gases except <10ppm for H2 | pdf_vision |
| Mass Stability | Better than ±0.1 amu over 8 hours | pdf_vision |
| Resolution | Better than 10% valley between peaks of equal height throughout the mass range | pdf_vision |
| Mounting Flange | DN35CF (70mm/2.75" OD) ConFlat* flange | pdf_vision |
| Foreline Pump | Dry diaphragm standard, Other options available | pdf_vision |
| Analyzer Housing Base Pressure | Better than 5e-9 Torr after bakeout | pdf_vision |
| Bakeout Temperature & Bakeout Jacket | Included for 180°C bakeout | pdf_vision |
| Total Weight | 33 lbs. (15 kg) to bolt on Process System | pdf_vision |
| Mechanical Support | Optional slarles and brackets are available | pdf_vision |
| Mobile RGA Platform | Optional RGA trolley to improve versatility (footprint 18x24"; 455x604mm) | pdf_vision |
| Pneumatics | 60-80 psi CDA | pdf_vision |
| Control Module Weight | 1.7 kg | pdf_vision |
| Power | 88-264 VAC, 47/63 Hz, 800 Watts | pdf_vision |
| Maximum Operating Conditions | Electronics: 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | pdf_vision |
| LED Status Indication | Interlock status, filament emission, SEM, power and communications | pdf_vision |
| Other Facilities | Leak check headset socket, external filament trip socket, instrument reset | pdf_vision |
| Communications | Ethernet CAT-5e | pdf_vision |
| CE | CE | pdf_vision |
| Total Shipping Weight | 44 lbs (20 kg) may vary depending upon backing pump and instrument rack requirements | pdf_vision |
Документы
Vision 2000-P представляет собой иную концепцию в области контроля процессов, требующую минимального взаимодействия с оператором или знаний АОГ. Vision 2000-P включает в себя технологию АОГ “smart head” Microvision 2 с закрытым источником ионов и впускным отверстием. Данная технология АОГ интегрирована с платформой Process Eye Professional Control, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Передовые технологии, доступные в Vision 2000-P, предоставляют пользователям простой и эффективный процесс контроль работы.
Определение уровня ppb загрязняющих газов при проведении процессов PVD
Отслеживание состава газовой смеси при использовании двух газов
Устранение неполадок в вакууме для быстрого восстановления PM
Интеграция с широким спектром инструментов PVD
Дистанционный вакуумный контроллер для безотказной работы и управления на базе ПК
Доступно с программным обеспечение
Жизненный цикл: active
Факты производителя: Заказной код VISION-2000-P. Совместимое ПО: EasyView ($758), TOOLweb RGA, Process Eye Professional. Доступны даташит и инструкция по установке (PDF). Доступность — по запросу (Quote).