← Каталог / Вакуумное оборудование

Винтовой насос Pfeiffer Vacuum серия COBRA BC 1200 A

Бренд: Pfeiffer PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru

Характеристики (12)

ПараметрЗначениеИсточник
Фланец (вход)DN 160 ISO-Kblms_full
Фланец (выход)DN 40 ISO-KFblms_full
Габариты (ДxШxВ), мм1054 x 425 x 615blms_full
Вес, кг350blms_full
Производительность, м³/ч1200blms_full
Мощность, кВт1,9blms_full
Частота вращения, об/мин3000blms_full
Предельное давление, мбар0,003blms_full
Температура окр. среды, °C0 – 40blms_full
Расход охлаждающей жидкости, л/мин5blms_full
Уровень шума, дБ60blms_full
Air at 20°C. Tolerance± 10% ___ 50 Hz ….. 60 Hzpdf

Документы

📄 Product_Leaflet_COBRA_BC_0101_G_Global_DE.pdf 📄 Product_Leaflet_COBRA_BC_0101_G_Global_EN.pdf 📄 Instruction_Manual_Busch_Monitoring_System_2.0_EN_en.pdf 📄 Instruction_Manual_COBRA_BC_0101_G_DE_de.pdf
• Усовершенствованный винт • Безмасляный и бесконтактный принцип работы • Уникальный «парящий подшипник» • Консольная конструкция • Прямое водяное охлаждение • Полностью открытый протокол связи Преимущества насосов COBRA BC Pfeiffer Vacuum COBRA BC идеально подходят для задач в производстве полупроводников, особенно в загрузочных и передаточных камерах. Также они применяются в метрологии, литографии, физическом осаждении из газовой фазы, быстром термическом отжиге и травлении кремния. Запатентованная конструкция самобалансирующегося винта обеспечивает минимальный уровень вибрации и бесшумную работу. Серия COBRA BC изготавливается методом монолитного литья, что исключает наличие зазоров. Это делает невозможным попадание технологических жидкостей или частиц. Таким образом, предотвращается коррозия и образование отложений. Насосы имеют раструбообразную консольную конструкцию: двойной ротор
Источник: https://blms.ru/catalog/vakuumnoe-oborudovanie/vakuumnye-nasosy/vintovye-vakuumnye-nasosy/vintovye-nasosy-pfeiffer-vacuum/pfeiffer-vacuum-cobra-bc-1200-a/