Безмасляные форвакуумные насосы Pfeiffer Vacuum A 603 P
Бренд: Pfeiffer интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (9)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN 100 | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 25 | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 684 х 342 х 662 | blms_full |
| Вес, кг | 270 | blms_full |
| Производительность, м³/ч | 570 | blms_full |
| Мощность, кВт | 4,7 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 1,5 | blms_full |
| Остаточное давление (без продувки), мбар | 0,3 | blms_full |
| Остаточное давление (с продувкой), мбар | 1 | blms_full |
Документы
—
Огромный более чем 20-ти летний опыт производства безмасляных насосов для полупроводниковой промышленности позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum представить третье поколение насосов с пониженным энергопотреблением.
Преимущества:
• низкое энергопотребление
• компактность
• технология многоступенчатого Рутса
• контроль температуры и продувки
• высокая коррозионная стойкость
• низкий уровень шума
• низкий уровень вибрации
• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706
Эффективность:
• низкая стоимость владения
• малая занимаемая площадь
• простота установки и подключения
• высокая надежность
• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности
Применение:
• травление
• озоление
• стриппинг
• ионная имплантация
Фланец (вход)
DN 100
Фланец (выход)
DN 25
Габариты (ДxШxВ), мм
684 х 342 х 662