Масс-спектрометрические установки MKS Instruments Vision 2000-C
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (36)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Макс. рабочее давление, мбар | 0,001 | blms_full |
| Рабочая температура, °C | 10 - 40 | blms_full |
| Область масс, а.е.м | 1-300 | blms_full |
| Мин. предел обнаружения, чаша Фарадея | 2,7 · 10⁻¹¹ гПа | blms_full |
| Соединительный фланец | DN 35 CF | blms_full |
| Maximum Operating Conditions Electronics | 10-40°C, 80% RH (non-condensing) | |
| Mass Range Options Vision 1000-E | 1-300 amu | pdf_vision |
| Mass Range Options Vision 2000-E | 1-200 amu | pdf_vision |
| Ion Source | High conductance closed ion source | pdf_vision |
| Filaments | Independently replaceable twin Tungsten filaments | pdf_vision |
| Mass Filter | Double filter (1 amu- RF only pre-filter with 4-inch main filter) | pdf_vision |
| Detector System | Dual (Faraday and secondary electron multiplier) | pdf_vision |
| Maximum Analyzer Operating Pressure | 1e-3 Torr at the ion source inlet (standalone), higher pressure optional | pdf_vision |
| Minimum Detectable Partial Pressure | <2e-11 Torr (for total pressure <1e-4 Torr on baseline line) | pdf_vision |
| Minimum Detectable Concentration | <200 ppb of lightest pressure gas for non-interfering species | pdf_vision |
| Mass Stability | Better than ±0.1 amu over 8 hours | pdf_vision |
| Resolution | Better than 10% valley between peaks of equal height throughout the mass range | pdf_vision |
| Ion source at maximum pressure | 1 mTorr, 10 mTorr or 100 mTorr | pdf_vision |
| Process Pressure Ranges (direct) | 5, 50, 200, 1000, 2000, 4000 mTorr or 0.75, 1, 5, 10, 20, 40 Torr | pdf_vision |
| Mounting Flange | DN35CF (70mm/2.75" OD) Conflat® flange. Custom adapters can be provided. | pdf_vision |
| Standard Backing Vacuum System | Connected to the tool foreline pump via SurgiProtect assembly with a KF16 fitting | pdf_vision |
| Base Pressure | Better than 5e-9 Torr after bakeout | pdf_vision |
| Bakeout Temperature & Bakeout Jacket | Included for 180°C bakeout | pdf_vision |
| Operating Temperature | 90°C (controlled to ±1°C) | pdf_vision |
| Total Weight | 33 lbs. (15 kg) to bolt on Process System | pdf_vision |
| Mechanical Support | Optional stands and brackets are available | pdf_vision |
| Mobile RGA Platform | Optional RGA trolley to improve versatility (footprint 18x24", 455x604mm) | pdf_vision |
| Pneumatics | 60-90 psig CDA | pdf_vision |
| Control Module Weight | 1.7 kg | pdf_vision |
| Power | 88-264 VAC, 47/63 Hz, 600 Watts | pdf_vision |
| Maximum Operating Conditions | Electronics: 10-40°C; 80% RH (non-condensing) | pdf_vision |
| LED Status Indication | Interlock status, filament emission, SEM, power and communications | pdf_vision |
| Other Facilities | Lock Checktuneet socket, external filament tool socket, instrument reconfiguration port | pdf_vision |
| Communications | Ethernet CAT-5e | pdf_vision |
| Cable to Vacuum System Cables | 35 ft (10 m) umbrella type cabling with separate heat resistant jacket (standard) | pdf_vision |
| Total Shipping Weight | 44 lbs (20 kg) may vary depending upon backing pump and instrument rack requirements | pdf_vision |
Документы
Vision 2000-C включают в себя технологию АОГ "smart head" от Microvision 2 с закрытым источником ионов и впускным патрубком. Современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Сочетание закрытого источника ионов и автоматического входа позволяет осуществлять непрерывный контроль полного технологического цикла CVD или травления, от базового вакуума до технологических давлений до 700 Торр.
Непрерывный мониторинг процессов CVD и травления на месте
Контроль утечек воздуха и фонового загрязнения
Программное обеспечение Process Eye Professional АОГ
Может быть интегрирован с широким спектром инструментов CVD и травления
Дистанционный вакуумный регулятор для безотказной работы в вакууме
Устранение неполадок в вакууме для быстрого восстановления PM
Vision 2000-C предназначен для отслеживания у