Комплект MKS Instruments 905 MicroPirani
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (24)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 5 – 40 | blms_full |
| Макс. температура отжига, °C | 130 | blms_full |
| Диапазон измерений, Torr | 760 – 10⁻⁵ | blms_full |
| product | The 905 MicroPirani Sensor Kit can be also used in these | |
| Measurement Range | 1 x 10^-5 to 760 Torr (1); 1 x 10^-5 to 1000 mbar; 1 x 10^-3 to 1 x 10^5 Pascal | pdf_vision |
| Measurement Accuracy | 5% | pdf_vision |
| Pressure Units (User Selectable) | Torr, mbar, Pascal | pdf_vision |
| Supply Voltage | +5VDC (±2%) | pdf_vision |
| Supply Current | 45 mA² | pdf_vision |
| Digital User Interface | Serial UART, TTL level | pdf_vision |
| Analog Output Range | 0.5 VDC - 4.5 VDC | pdf_vision |
| Analog Output Impedance | 100 Ohm | pdf_vision |
| Set Point Output | 3 (open collector) | pdf_vision |
| Set Point Sink Current | 50 mA | pdf_vision |
| Operating Temperature | 5° to 40°C (41° to 104°F) | pdf_vision |
| Storage Temperature | -10° to 55°C (14° to 131°F) | pdf_vision |
| Sensor Bakeout Temperature | 130°C (266°F) | pdf_vision |
| Material Exposed to Vacuum | Silicon, SiO, SiN, Epoxy, Gold | pdf_vision |
| Weight (Electronics Module) | 9 grams | pdf_vision |
| Mounting Electronics | DIP 28 Pin socket | pdf_vision |
| Mounting Electronics Pins | 0.5 mm | pdf_vision |
| Electronics Dimensions | 47.8 x 20.8 mm (1.882 x .820 in) | pdf_vision |
| Примечание 2 | Typical measurement accuracy from 1E-3 to 100 Torr Nitrogen pressure measured at 25°C | pdf_vision |
| Примечание 3 | No set point load | pdf_vision |
Документы
Комплект 905 MicroPirani - это сверхкомпактный датчик вакуума широкого диапазона, разработанный для интеграции в OEM-систему. Преобразователь основан на хорошо зарекомендовавшей себя технологии MEMS (микроэлектронные механические системы) и отвечает требованиям интегрированных решений для измерения вакуума.
Широкий диапазон измерений от атмосферы до 10
торр.
Три уставки открытого коллектора для расширенного управления процессом
Удобное цифровое управление через главный процессор или компьютер
Прочный твердотельный датчик устойчив к вибрациям и перегрузкам
Стандартный 28-контактный разъем DIP для легкой интеграции
Аналоговый выход 0,5 В постоянного тока на декаду
Рабочая температура, °C
5 – 40
Макс. температура отжига, °C
130
Диапазон измерений, Torr
760 – 10⁻⁵
Спецификация MKS Instruments 905 MicroPirani
488 Кб
ООО "БЛМ Синержи" осуществляет поставки оборудования по всей территории Росси