Безмасляные многоступенчатые насосы Pfeiffer Vacuum AD 4560 H
Бренд: Pfeiffer PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (13)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Фланец (вход) | DN 200 ISO-K | blms_full |
| Фланец (выход) | DN 50 ISO-KF | blms_full |
| Габариты (ДxШxВ), мм | 1234 x 604 x 1194 | blms_full |
| Вес, кг | 1 360 | blms_full |
| Мощность, кВт | 6,5 | blms_full |
| Предельное давление, мбар | 0,002 | blms_full |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | 9 | blms_full |
| Напряжение питания (3~) | 200-230 В | blms_full |
| Скорость откачки по N₂, м³/ч | 4 500 | blms_full |
| Скорость откачки по H₂, м³/ч | 4 500 | blms_full |
| Уровень шума, дБ | 67 | blms_full |
| Test done until 35 °C | regulation temperature at high pressure is 70 °C min at flow rate up to 100 slm | |
| Please contact us | T +49 6441 802-0 |
Документы
Pfeiffer Vacuum AD 4560 H — самая производительная модель безмасляных многоступенчатых насосов серии ADH. Пиковая быстрота откачки достигает 4 500 м³/ч как по азоту, так и по водороду, предельное давление — 0,002 мбар. Насос создан для процессов в производстве полупроводников, солнечных элементов и светодиодов, где нужна максимальная скорость откачки.
Одинаковая производительность по азоту и водороду делает модель подходящей для водородных процессов: PECVD при выпуске солнечных элементов, MOCVD при производстве светодиодов, ALD и эпитаксии в полупроводниковой отрасли. Скорость встроенного насоса Рутса можно менять, подстраивая быстроту откачки под режим процесса. Насос рассчитан на камеры объёмом до 40 м³, входной фланец — DN 200 ISO-K, выходной — DN 50 ISO-KF.
Два контура водяного охлаждения с регулированием температуры и продувка горячим азотом защищают проточную часть от пор