Вакуумметр MKS Instruments 901P MicroPirani/Piezo
Бренд: MKS PDF интересно: producer не найден фото с blms.ru
Характеристики (49)
| Параметр | Значение | Источник |
|---|---|---|
| Рабочая температура, °C | 0 – 40 | blms_full |
| Соединительный фланец | NW16 ISO-KF; NW25 ISO-KF | blms_full |
| Макс. температура отжига, °C | 85 | blms_full |
| Тип сенсора | MicroPirani / Piezo | blms_full |
| Дисплей | Опционально | blms_full |
| Диапазон измерений, Torr | 1000 – 10⁻⁵ | blms_full |
| Макс. давление, Torr | 1 500 | blms_full |
| Интерфейс | RS485; RS232 | blms_full |
| модель | 901P | pdf_vision |
| тип | датчик абсолютного и дифференциального давления | pdf_vision |
| технология_абсолютного_давления | MicroPirani (piezo-independent) | pdf_vision |
| технология_дифференциального_давления | Piezo | pdf_vision |
| чувствительность | от 1 до 1000 Torr | pdf_vision |
| точность | выше обычных кондуктивных датчиков | pdf_vision |
| диапазон_измерения_piezo | -760 до +760 Torr | pdf_vision |
| интерфейс | RS232 и RS485 цифровой | pdf_vision |
| аналоговый_выход | 0/10В (IVC/Decade) | pdf_vision |
| доп_аналоговый_выход | дифференциальное давление | pdf_vision |
| реле | 3 механических реле | pdf_vision |
| размерности | в дюймах (мм в скобках) | pdf_vision |
| питание_рс232 | Pin 1: RS485 (URS232 transmit), Pin 2: RS232 receive, Pin 3: Power (+) | pdf_vision |
| выходы | Три (3) set point реле и двойной Analog | pdf_vision |
| Sensor Type 1 | MicroPirani™ (MEMS Thermal Conductivity) | pdf_vision |
| Sensor Type 2 | Piezo differential (MEMS diaphragm) | pdf_vision |
| Measuring Range Absolute | 1.0 X 10⁻³ Torr to 1500 Torr | pdf_vision |
| Measuring Range Differential | -760 to +750 Torr | pdf_vision |
| Set Point Range Absolute | 5.0 X 10⁻³ Torr to 1000 Torr | pdf_vision |
| Set Point Range Differential | -760 to +1000 Torr | pdf_vision |
| Calibration Gas | Air, Argon, Helium, Nitrogen, H₂, H₂O vapor, CO₂, Xenon, Neon | pdf_vision |
| Operating Temperature Range | 0° to 40°C (32° to 104°F) | pdf_vision |
| Maximum Bakeout Temperature | 85°C (185°F), non-operating | pdf_vision |
| Digital Communication | RS485 (92200 (4800 to 230,400 Baud)) | pdf_vision |
| Analog Output (Absolute Pressure) | 1 to 8 VDC, 1 VDC/decade, 50Ω2 maximum output impedance | pdf_vision |
| Analog Output Resolution | 18 bit | pdf_vision |
| Optional Analog Output 2 (Piezo Differential) | 5 VDC = 0 Torr, 1 VDC/decade | pdf_vision |
| Analog Output 2 Resolution | 12 bit | pdf_vision |
| Relay (Optional) | 50/5P - 3 relays SPDT | pdf_vision |
| Relay 1 & 2 Set Point Rating | 1A, 30 VDC or 120 VAC resistive | pdf_vision |
| Relay 3 Response | 100 msec, maximum | pdf_vision |
| Power Requirements | 9 to 30 VDC, < 1.2 watts max | pdf_vision |
| MicroPirani Repeatability(1) | 1 X 10⁻¹ to 1.0 Torr: 2% of reading | pdf_vision |
| Piezo Differential Repeatability(1) Zero Stability(1) | +50 to 150 Torr: ±1% of reading; ±3% FS (+5 to +5 Torr) | pdf_vision |
| Overpressure Limit | 1500 Torr (Absolute) | pdf_vision |
| Installation Orientation | Any | pdf_vision |
| Internal Volume (KF25) | 2.8 cm³ | pdf_vision |
| Materials Exposed to Vacuum | Silicon, SiO₂, glass, epoxy, low outgassing epoxy resin, 304 stainless steel, Viton | pdf_vision |
| Electronic Casing and Flange | 304 stainless steel | pdf_vision |
| Weight (with KF 16 flange) | 170 g | pdf_vision |
| CE Certification | EMC: Directive 2004/108/EC | pdf_vision |
Документы
Разработанный специально для для работы с загрузочными шлюзами, датчик Loadlock (LLT) 901 Plus (901P) сочетает в себе технологии Piezo и Micro Pirani. Комбинированный датчик обеспечивает более высокую точность, стабильность, воспроизводимость и более быстрое время отклика, чем обычные датчики Пирани.
Измерение абсолютного давления от 1000 до 10-5 Торр
3 датчика в одном преобразователе для широкого диапазона измерений
Аналоговые версии, RS232, RS485 и EtherCAT
Опционально доступен встроенный сенсорный дисплей для индикации давления
Быстрые, точные и воспроизводимые измерения давления сокращают время технологического цикла
Три дополнительных уставки с быстрым временем отклика для надежного управления процессом
Рабочая температура, °C
0 – 40
Соединительный фланец
NW16 ISO-KF; NW25 ISO-KF
Макс. температура отжига, °C
Тип сенсора
MicroPirani / Piezo
Дисплей
Опционально
Диапазон измерений, Tor